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米尼諾：寶寶的異想世界

為了解決%E5%90%B8%E7%9B%A4%E的問題，作者伊索爾 這樣論述：

這是一本讀完以後嘴角會笑，眼眶會濕的書。 跟著米尼諾，我們將看到生命的原點。 　　謹以本書獻辛苦給照顧米尼諾的媽媽們， 　　獻給曾經是米尼諾的你我， 　　也獻給未來要照顧米尼諾的人。 　　《El Menino》 是這本書的原文名字。它可以同時翻譯成：「米尼諾」（孩子的名字）、「寶寶（北鼻）、小屁孩」和「我的孩子」。這個書名取得真好。 　　作者為伊索爾，她是來自阿根廷的繪本作家，以詼諧幽默的角度，將新生寶寶比喻成外星人，米尼諾的降臨帶給地球人家庭多麼大的震撼，也帶給地球人多麼大的喜悅。她將米尼諾的一舉一動、一顰一笑，連一個噴嚏都解釋得那麼完美，毫無破綻，讓人心服口服，一步步接受這個既瘋狂

又有趣的事實。 　　米尼諾很神祕，他的身體中間有一個結…… 　　米尼諾覺得若是他看不到你，你也一定看不到他…… 　　米尼諾很會裝傻，其實他可以看到和聽到很多東西…… 　　米尼諾是一面鏡子，你無法在他面前偽裝自己…… 　　米尼諾在鏡子前面不知道自己是誰，但是他一點也不擔心，不管是誰，他都玩得很開心…… 　　米尼諾覺得這裡是他的家了，所以他決定留下來…… 　　這本書讓我們重新解讀寶寶的世界，也喚起大人記憶深處中曾經也是米尼諾的溫馨與童趣。 本書特色 　　作者將新生兒比喻為來到地球的外來者，以一種風趣幽默的口吻觀察新生兒的一舉一動，由體內到體外，從頭上到腳底，從生理到心理，用另一種完全不一樣

的角度來看寶寶這個生物體。 　　將這本書獻辛苦給照顧米尼諾的媽媽們，獻給曾經是米尼諾的你我，也獻給未來要照顧米尼諾的人。 　　這是一本每個人看到都會笑的書，不管真笑，或是在心裡偷笑。這也是每個人都會喜歡的書，只要你曾經是米尼諾。 名人推薦 　　暖心療癒系作家  羽茜／繪本小情歌  汪仁雅 　　繪本鑑賞與說故事小學堂主辦人  海狗房東 　　兒童文學工作者  陳培瑜／繪本，生活練習  劉亞菲 　　小茉莉親子共讀  顏銘新／親子作家 羅怡君 　　笑中帶淚推薦  （以上按照姓氏筆畫排序） 作者簡介 伊索爾（Isol） 　　出生於阿根廷，一位兒童圖畫書創作者，同時也是一位流行歌手。20

13年曾榮獲世界最大青少年兒童文學獎「林格倫獎」。講述故事的方式具有濃厚的個人風格（坦率且具有諷刺意味），他的書已經在墨西哥、西班牙、美國、法國、韓國、瑞士和阿根廷等國家出版發行。本書是台灣第一次出版她的書。 　　作者的網址isolisol.blogspot.tw/ 譯者簡介 李家蘭（Orquidea Lee） 　　曾在阿根廷布宜諾斯艾利斯求學，是智利心理學系學士與文化心理學碩士，並擁有阿根廷及智利的心理諮商師執照。曾在當地華人週刊撰寫心理專欄，並在智利私有電視台教授中華料理。譯作包含幼教、百科與文學，是國立台灣文學館的西文翻譯員，並有西班牙文語文書。   譯者序 一語三關：「米

尼諾」、「小屁孩」和「我的孩子」。 　　《El Menino》是一本書的名字，為了翻譯這個名字，我和小編傷透腦筋。一個字有那麼難嗎？谷歌一下不就好嘍？NO，作者是個有趣的人，她用了一個三關語。我沒有打錯字啦，是「三」、不是「雙」。第一關，書中內容的Minino頭字大寫，所以是個人名吧？直接音譯「米尼諾」，很簡單；但是還有第二關，Minino 前面有冠詞El，那麼不是一個人名，是一個普通名詞吧？葡萄牙（西班牙的鄰居）的俗語，「小孩子」就是 minino，西班牙人也會用這種外來語，像我們會用英文的「北鼻」（baby）來稱呼孩子，而且講的時候又增加一點點「寶貝」的意思，不是嗎？葡萄牙語的「meni

no」，在西語人的感覺是有點調皮搗蛋的孩子，在「寶貝」與「小屁孩」之間；但是還有一關必要納入考量，那就是西語父母講到自己的孩子就會說「mi niño」如何如何的……很多牙牙學語的孩子聽了以為自己的名字就是「mi niño」，然後講到自己就說「mi niño」，但發音不準，往往說成「menino」，所以「menino」一詞也代表娃娃音的「我（家）的孩子」。書名一語三關：「米尼諾」、「小屁孩」和「我的孩子」。 　　這是一本有趣的繪本，內容介紹一個新生兒，包括孩子的生理構造、社會互動、甚至對於父母的內心所帶來的影響。一般的相關作品，會把重點放在教育哥哥/姐姐如何對待弟弟/妹妹，但這或許有盲點。其實

孩子的感覺有的時候來自成人的反應，有些不用語言的行為動作，孩子們比專業心理學家還厲害，善於理解成人的心聲。家裡來了一個新成員，成為每一個人關注的焦點，而且這個新來的，還有各種各樣的索求，把媽媽緊緊綁在身邊。因此事關整個家庭環境，需要全家人一起面對。這是一本讓父母與哥哥/姐姐一同閱讀的書，讓全家一起討論，共同建設良好環境，來接納一個新成員。作者以全新的角度去探勘這個事件，不但使用e世代熟悉的各種科技名稱來解釋新生兒的各種能力/需求，還用幽默的方式去看待整個家庭為此翻天覆地的情況。   文/李家蘭（本書譯者） 推薦序 其實，我們每個人都是米尼諾 　　人跟書之間，應該也有所謂的緣分吧。

　　收到這本書的時候，我正在寫作，內容是關於一對夫妻怎麼迎接新生兒帶來的天翻地覆，最終在混亂中找到新的平衡，認識了對方和自己。 　　「乍看是兩個成人照顧一個孩子，實則是三個不同成長階段的孩子，學習在沒有一個人是完全的大人的情況下，照顧自己也彼此照顧……」寫下這段話時我正在思考，孩子是怎麼讓我們赤裸裸地面對自己的內心，不只是因為他的眼睛是那樣清明澄澈，也因為我們習慣的生活徹底失序，在捨棄了原本生活步調的時候，我們都重新認識、回顧了在我們心裡，那個還不懂人情世故、只是單純渴望被愛的自己。 　　而那樣的自己其實就是一個孩子，剛來到這世上的新生兒，本書作者給他一個可愛的名字—米尼諾。 　　不是男

生也不是女生，不知道從哪個星球旅行而來，你看著他不知道他小腦袋瓜在想些什麼，他看著你卻彷彿能把你看透。 　　米尼諾的到來令人會心一笑，只見他雙眼緊閉、雙手高舉，背景音樂似乎是咚—的一聲，就跟著一道光從空中降落到地面。媽媽大叫：「別讓他摔在地上啊！」然後那手忙腳亂、永遠都來不及準備好的新手父母的緊張，也從畫面上媽媽飛揚的頭髮、爸爸瞪大的眼睛、貓咪因受到驚嚇而豎起的尾巴，傳達得淋漓盡致。 　　米尼諾不會講話卻毫不客氣，用他的大嗓門隨時向周遭的人表達需求，若不能正確回應就無法關掉警鈴，也讓我想起照顧孩子最初那幾個月，時常抱著一個哇哇大哭的嬰兒，和先生你看我、我看你，手足無措地問著「他這是怎麼了？

」。 　　我們是怎麼迎接這個小小的客人啊，可愛又令人頭痛，但作者不只想描述孩子造成的混亂，他的創作幽默又帶有哲理。 　　原來我們每個人都是米尼諾，從遙遠的地方來到這裡都彷彿是一場旅行，我們學習溝通、表達、愛與被愛，看見彼此的共同點，才能成為一個家。 　　所謂幸福，原來就是看見彼此內心的真實，用米尼諾神奇的催眠力量把笑容傳染給彼此，又用雙手彼此承接。 　　這是一本溫暖又耐人尋味的小書，衷心推薦給每位讀者。 文 / 羽茜（暖心療癒系作家） 推薦序 因為愛，讓我們一步步彼此相依接納 　　當寶寶降臨在你的生命裡，會發生哪些新奇有趣或困惑的事？ 　　你一定要讀讀《米尼諾—寶寶的異想

世界》。從孩子呱呱墜地、理解自身與外界的互動，以及對成人平靜生活所帶來的衝擊，都賦予嶄新意義和視角。從天而降的米尼諾一出現就帶來驚喜（驚嚇），小小身軀擁有強大功能，內建擴音警報器，隨時通報各式需求和存在感。伊索爾（Isol）的作品之所以獨特迷人，來自於不按牌理出牌的思維，透徹犀利，又帶點距離的觀看角度，讀起來有點像寶寶功能說明書或是教養手冊。每回翻頁都是一段滿載創意和詩意的註腳，用冷靜理性的文字剖析寶寶身體的各種功能，同時飽含對生命的熱情和渴望。 　　成長，是對身體的無限探索，到底身體能伸展彎曲到什麼程度？手指腳趾能幫忙達成哪些的願望？當感官越來越細膩敏感，就更渴望向外探求和交流。小小的米尼

諾以驚人的速度成長，還會施展迷惑人心的魔法，他的純真能直達內心，讓你忘了傷心、忘了疲累、忘了過去自由自在的生活，現在的你只想天天盯著他瞧，連嘴角上揚都不自覺。故事同時展現出對成人與孩子的同理，勾勒出生命的姿態與全貌，大小讀者都能得到寬慰和心安。 　　獲2013年瑞典林格倫獎得主的伊索爾（Isol），每一本作品都讓人驚艷。看似隨意的線條，總是精準的抓住情緒和氛圍。仔細讀，會發現圖畫裡隱藏詼諧的小對話或場景，圖畫比文字訴說的更多，而字裡行間則充滿哲思，值得再三玩味，這樣完美的圖文合奏，是圖畫書的極致表現。加上溫暖的色調，交替著深淺的米、咖啡、橘色層疊，讓書頁彷彿飄出淡淡的奶香味，任由記憶盪漾生香

。 　　邊讀邊回想育兒的那段時光，面對那個眼睛眨呀眨、不斷流口水、吃小手小腳，半夜會突然痛哭的小東西，時常夾雜著欣喜和無助的心情。等他會爬會走會說話，那份感動驚喜仍鮮明如昨。我們都曾是小小的米尼諾，而後某一天，有能力迎接新生命到來，跟著孩子重新再活一遍，生命正是如斯循環往復，情意綿綿。 　　好在，成人成熟的外表下其實也蘊含著一顆童心，就像故事裡說的：眼前的大人其實也曾經是個小孩，或許來自其他星球，因為愛，一步步彼此相依接納。   文 / 汪仁雅（繪本小情歌） 推薦序 我們以為自己很瞭解孩子…… 　　米尼諾，是一個孩子、也是每一個孩子，尤其是指「抵達地球不久」的孩子。 　　如果我

能提出一個政府相關部門「無法拒絕」的要求，我會說：「請送給每個新生兒家庭一本《米尼諾》吧」，因為這本書就像是一本寶寶的「說明手冊」；此書的副標題雖然是「寶寶的異想世界」，但並不是寫寶寶有什麼奇思妙想，而是以一連串幽默、詩意卻深具啟發性的描繪，讓我們重新看見一個新生命的美好、細緻與奧祕。 　　孩子與成人常常像是截然不同的生物，年紀越小、差異越大，更遑論是還不會說話、無法行動自如的嬰幼兒。因此，有這麼一本繪本作為說明手冊，是再好不過了。 　　在這本書的一開始，一個「米尼諾」從天而降，被一家人「接住」了，這時，一旁的小哥哥指著他大喊「有外星人」，再翻幾頁，我們會看到米尼諾降落之前，在浩瀚的宇宙中

駕著一艘母體樣貌的太空船自遠方而來，這個壯闊的畫面所蘊含的象徵意義，令我想起紀伯侖在《先知》中為眾人說明「何謂孩子」的智慧之語： 　　「你的孩子不是你的。他們是『生命』的子女……你的房裡可以住著他們的身體，卻住不了他們的靈魂，因為他們的靈魂住在明日之屋……」 　　這本書確實不是一本說明「寶寶如何而來」的知識性繪本，畢竟在知識的現實上，寶寶不會駕著太空船到地球，並從天上掉下來。然而，我們關於受孕、懷胎、新生兒照護的知識已經夠充足，這是一把雙面刃，充足的知識同時成為一種障礙，讓我們自以為全盤理解，就停止探究、好奇，對生命不再感到新鮮。《米尼諾》可以幫助我們打破這道障礙。 　　若將一般知識性的

繪本比喻為X光機或是顯微鏡，像《米尼諾》這樣的繪本就是萬花筒了；萬花筒將現實的知識碎片化作繽紛的、不可預測、充滿無限可能的感受，讓我們發出驚嘆、留下滿足。 　　原本想摘出一些書中的經典句子──即使是描繪身體構造的許多字句也都如萬花筒一般迷人，但是選擇太多、難以取捨，就留給你自己翻開書去細細品味吧！   文 / 海狗房東（繪本鑑賞與說故事小學堂主辦人） 推薦序 米尼諾召喚成人逐漸失去的稚子之心 　　「我一定要降落到那一個星球嗎？」米尼諾問。 　　「怎麼了，有什麼問題嗎？」伊索爾反問。 　　「那個星球看起來灰濛濛的，大氣層裡滿滿都是冷漠啊？」米尼諾有點不情願地說。 　　「別擔心，我們會

幫你配備二十個小圓筒，讓你檢查進氣出氣的兩個小洞，親自保持暢通。我們還會派仙女去守護你。而且就是因為這個星球的空氣太冷漠了，才要你下去，好好啟發他們」伊索爾安慰它。 　　「啟發？」米尼諾有點疑惑。 　　「對，先催眠他們，再教他們如何揚起嘴角……有的時候，讓他們得到失憶症……像鏡子一樣，教他們面對真實的自己，別再偽裝……」伊索爾耐心地解釋著。 　　長頸鹿的幼獸在出生幾個小時之內就能夠自己站立，矮了很多的人類幼獸卻要花四個月才能挺直脖子。人類幼獸真是脆弱啊，其他哺乳類幼獸腦容量在出生後就已經是成獸的百分之六十到九十，人類幼獸只有四分之一。作者把後來多出來的四分之三腦容量的功能解釋得好清楚：那是要

來接收米尼諾的警報器、餵食它、到處找它、學習它的語言 (雖然無論你怎麼學都學不會)。 　　許多人喜歡在社群網路裡分享自家小孩的貼心、機警、成就、榮耀，無論是否出於炫耀，但無庸置疑在每一個父母眼中自己家的米尼諾才是最可愛的。也的確每一個孩子都是一個家庭裡的開心果，用笑聲感染全家，喚回成人逐漸失去的稚子之心，帶給長輩和父母無比的滿足與歡愉。 　　伊索爾的眼神、文字和圖畫都有著相似的狡詰機靈。讀她的作品，就好像前後兩的蝴蝶頁裡的那隻手，有的時候要緊緊捉住每一個字和每一個線條、顏色、紋理和陰影，反覆咀嚼箇中滋味；有的時候又要鬆開手掌，任由想像馳騁，手上放掉飛機，才能去掌握地球，手上什麼都沒了，才能

想像握住什麼時的感受。讀她的作品，要反覆的握緊鬆開，一遍又一遍，每一次讀都會看到不同的內容，讀出不同的意義。讀她的作品，最好是在睡覺之前，攬著你的米尼諾一起讀，一邊讀一邊逗著它笑，把甜甜的閱讀喜悅帶進夢裡，因為黑夜這個小偷，就算可以偷走世界的色彩，卻偷不走親子共讀時的溫馨回味。 文/ 顏銘新（小茉莉親子共讀 ） 推薦序 跟著米尼諾一起體會這趟奇妙的旅程 　　書中的文字，充滿天真直覺的口氣，以意外卻貼切的形容，介紹我們熟識的身體器官與情緒發展，真像是一本認識小寶寶的可愛說明書。 　　看著襁褓中的小嬰兒，總是覺得，他們似乎不僅僅是小尺寸的人類，倒像是等待進化為地球人的奇妙生物。 　

　他們有嘴巴，不是用來說話或吃食，而是吸吮與哭泣；他們有雙手、雙腳，不是用來拿取或行走，而是踢踢晃晃與揮舞；他們無法言語，但哭聲容易使人失了方向，笑聲則讓人快樂無比。 　　他們擁有人類迷你版的所有構造，卻無法自行駕馭這套配備。於是在「七坐、八爬、九發牙」等各項感官功能通過探索歷程後，「類地球人」慢慢地成為了真正的地球人。這個過程即使經常讓照顧者疲憊不堪，卻必然是一個家庭迎接生命誕生，親眼見證小生命身心成長的機會。 　　然而，認識一個新生命與認識一位新朋友是那麼的不同。作者伊索爾從新生兒－米尼諾在家庭中造成生活氣氛的改變開始，介紹米尼諾的生理結構，理解他的作息特性與心理需求。伊索爾十分幽默，

他推翻了父母親慈愛的期待，捨棄了慣有的認知，以米尼諾從天而降的誕生情節，張顯新手父母的慌張，並以物品化的形容，描寫嬰兒全身上下這套還無法自動運作的配備。他以吸盤形容嘴巴，以窗子描繪眼睛，也說嬰兒的身體像氣球，肚臍就是吹孔與打結之處。 　　而最重要的，幾個月過去了，米尼諾牙牙學語、搖擺學步，慢慢掌握了身體的使用方式，也漸漸地相信自己到了對的地方。讓米尼諾獲得安全感的，是他發現眼前的大人們也曾經是個天真的孩子。米尼諾是如何發現的呢？我們可以跟著書裡的米尼諾一起從天而降，體會這趟奇妙的旅程。 文 / 劉亞菲（繪本，生活練習）  

小孩的科學STEAM系列vol.01：爬牆機器人

為了解決%E5%90%B8%E7%9B%A4%E的問題，作者智高實業股份有限公司,林坤誼,盧俊良 這樣論述：

親子天下《小孩的科學》與臺灣積木公司「智高」跨界合作，用STEAM學習＋智慧積木， 讓孩子懂得「用」知識、發展解決問題的能力。 　　《小孩的科學STEAM系列01：爬牆機器人》用橫跨科學（S）、科技（T）、工程（E）、藝術（A）與數學（M）的知識，與強調協作自造的智高積木，透過知識應用與探究回饋，翻轉單向學習，打造專屬臺灣小學生的新世代學習方法。 　　★★2017年德國紐倫堡玩具展創新獎（Toy Awards）前三名★★ 　　★2017年美國亞馬遜書店STEM玩具編輯選品★ 　　各種積木充滿創意好好玩，組裝城堡或是汽車看似能發揮孩子的想像力，但是積木組合是否真能訓練大腦創意？只有

組裝步驟的手冊真的有辦法說明積木背後的科學原理嗎？ 　　《小孩的科學STEAM系列01：爬牆機器人》特別為臺灣小學生設計，融合親子天下的教育經驗與智高積木的創意能量，不但在組裝爬牆機器人的過程中實現孩童創意，也可實際操作機器人爬牆、驗證科學原理。此外，還可以自行設計機器手臂完成各項模擬工程任務，是一項完美融合趣味、創意與知識學習的科學積木教具。 　　產品包含一組智高爬牆機器人積木與一本STEAM學習手冊。套組含有176個積木，可分別組合出爬牆機器人、工業機器人手臂、吸力拖車、吸力槍、手機支架、橢圓規與尺蠖等7種變形。在STEAM學習手冊中，透過組裝爬牆機器人，讓孩子從齒輪機械、馬達動力與吸

盤大氣壓力等科學知識，建立出自己的學習思維。再透過機器手臂改裝的工程模擬任務，由淺至深、逐一解決問題。從實際應用與回饋機制中，重新學習知識，並且找出自己的興趣。 本書3大特色 　　特色1：最專業的跨界合作：由最懂教育的「親子天下」與創意積木專家「智高」聯合攜手打造，完美結合小學科學、STEAM教育與自造maker學習。 　　特色2：最教育性的遊戲任務：師大林坤誼教授、宜蘭國小的盧俊良老師將積木融合STEAM學習與學科知識，替臺灣兒童打造專屬的科學教具。 　　特色3：最安全、耐玩的創意積木：積木塑膠原料來自臺灣奇美，由智高公司在臺灣生產製作，通過商品檢驗、安全無毒。並且各項零件皆可與智高

小小工程師、科技、機器人系列等產品完美接合，甚至無縫參與智高各項創意賽事，讓學習與創意路上不孤單。 得獎記錄 　　★2017年德國紐倫堡玩具展創新獎（Toy Awards）前三名殊榮 　　★2017年美國亞馬遜書店STEM玩具編輯選品 學術教育、科教玩具、親職家長等各界專業推薦 　　王德麟（科學玩具柑仔店，臺南市大橋國中教師） 　　林怡辰（彰化縣原斗國小教師） 　　洪旭亮（教育噗浪客TPET共同創辦人，南投縣僑光國小校長） 　　洪榮昭（臺灣師範大學研究講座教授，中華創意發展協會祕書長） 　　林厚進（賽先生科學工廠創辦人） 　　金克杰（KiM Lab玩具實驗室創辦人、科學玩具自造王作者）

　　蔡宗翰（臺灣區玩具暨兒童用品公會副秘書長） 　　吳易靜（學習玩樂過生活粉絲團） 　　藍子媽（親子天下嚴選部落客） 　　身為學校老師和即將成為三個孩子的媽媽，對於書籍有嚴格的要求、玩具也是。既然資源有限，那就應該集中火力在重點項目，像是球或運動器材、各種積木像是智高磁性積木等、蠟筆色筆、發揮想像力的黏土、拼圖，就是我的重點項目。而也需要符合有創意、好玩且有不同的玩法的條件。 　　而親子天下和智高合作的「爬牆機器人」，我覺得就符合這樣的條件。價格平實，且加入了吸盤、馬達、齒輪機械、氣閥控制和大氣壓力的變化。可以做出爬牆機器人、吸力拖車、吸力手臂、工業機器人手臂、橢圓規、尺蠖、手機架等七種造

型。一百七十幾個零件的探索，足夠八歲以上的孩子長時間研究，過程中更可以拉近孩子和學科之間的距離、具體化知識、嘗試錯誤耐挫力、立即回饋。推薦給大家。－彰化縣原斗國小教師 林怡辰 　　「施比受更有福」這句話也可以用在學習與探究上，當孩子願意去動手將知識活用、操作，進而解決遇到的困境，絕對比單純的吸收、接受知識來得有效益。大人可以做的，便是提供機會、橋梁、情境給小孩，讓他們在體現想法的同時，也盡情探索科學。 　　在機械傳動與能量轉換的領域裡，融入壓力的應用，讓積木如同章魚（八爪魚）的腕足般延伸到更廣的範圍，再加上吸盤，不只可以爬牆、吸物，其他延伸的應用、組裝上的變化讓探索更為多元。 －科學玩具柑仔

店  王德麟（台南市大橋國中教師） 　　小時候我們常立下志願要當科學家造福人類，長大後才發現學習科學總有些艱深難以理解之處，到底是這些科學知識真的那麼難懂或是沒有好的學習教材讓孩子進入科學殿堂？我想以近來中外極為流行的STEAM學習浪潮來看，答案就呼之欲出了。 　　玩玩具讓孩子們跳脫制式的學習框架，輕鬆從遊戲中拉近並習得的科普概念，是這波學習浪潮的主要訴求。想讓您的孩子過一個充滿趣味的暑假嗎？小孩的科學STEAM系列是您的最佳的選擇，千萬不要錯過。－教育噗浪客（TPET）共同創辦人 洪旭亮 （南投縣僑光國小校長） 　　是什麼黑科技挑戰了無重力的世界？打破萬有引力基本定律是所有科學家的夢，親

子天下與Gigo智高積木共同創造出這個具爬牆功能的仿生機器生物「爬牆機器人」實現了這個夢想。這款機器人結合了科學與機械從而征服牆壁，像電子壁虎般的攀岩附壁，小小的機器人卻隱含了許多的科學機密，讓孩子在自然的遊戲情境中發展解決問題的能力。－賽先生科學工廠創辦人 林厚進

陶瓷吸盤靜電吸附功能改善之研究

為了解決%E5%90%B8%E7%9B%A4%E的問題，作者曾羿凱 這樣論述：

台灣半導體產業在國際的高科技供應鏈上扮演極為重要的角色，並且該產業中內蝕刻製程更為不可或缺的部門之一。在半導體蝕刻製程中，陶瓷靜電吸盤主要功能為吸附矽晶圓(Wafer)的產品。陶瓷靜電吸盤因為經常性地接收高溫且高電流的電漿轟擊陶瓷吸附表面及接合側邊，造成陶瓷吸盤容易因長時間轟擊有所損耗，導致陶瓷表面平面度不佳產生氦氣壓力從產品吸與陶瓷吸附表面及側邊洩漏。進而需耗費更換陶瓷吸附盤的工時及較高額的全新品做使用，故陶瓷靜電吸附盤也成為半導體蝕刻製程中主要高消耗零組件之一。故本研究著重重點是透過研磨機台以表面研磨方式恢復使用過後的陶瓷吸附盤表面平面度及其他影響吸附力之主要功能。從取回在工廠內機台上長

時間使用損壞下機的陶瓷靜電吸附盤，經過相對應測試設備及陶瓷表面研磨維修方式，訂定針對陶瓷表面粗糙度、平面度、氦氣壓力及氦氣漏率、漏電流等相關實驗流程。進而得到驗證陶瓷表面研磨實驗是否能真正使下機品恢復原有的吸附能力及保壓效果。實驗結果證實，取回下機品後，測試陶瓷吸附盤吸附產品矽晶圓時資料顯示，保壓能力極為不佳。在真空腔體內持續測試3分鐘時即會因為氦氣洩漏導致吸附力不佳跳片，出現無法持續供給氣體而中斷測試。然而在經過本研究維修手法進行表面研磨維修，針對上述氦氣洩漏異常所列出幾項重點觀察數據，恢復原有的硬體數據。進而再次測試氦氣壓力值可以達到維持超過5分鐘，壓力值能保持在50 Torr以上不會再跳

片。證實此維修手法初步效果有達成，此方法的確能恢復原有的吸附功能，就等實際將維修後的陶瓷靜電吸附盤換上廠內使用機台進行驗證。