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國立高雄科技大學 化學工程與材料工程系 何宗漢所指導 江宥燊的 溶劑型環保光阻剝離劑之製備及性能評估 (2021),提出%E6%B0%96%E6%B0%A3關鍵因素是什麼,來自於半導體製程、光阻剝離劑、1-甲基吡咯烷酮、溶解度參數。

而第二篇論文國立臺灣師範大學 物理學系 傅祖怡、黃英碩所指導 侯勁龍的 熱穩態金屬與超導材料奈米針:製備與場發射特性 (2016),提出因為有 鈮奈米針、熱穩態形貌、功函數、場發射電流的重點而找出了 %E6%B0%96%E6%B0%A3的解答。

最後網站氖气是氖原子构成还是由氖分子构成 - 快资讯則補充:所有的稀有气体都一样,稀有气体的原子就是分子,因为它们是单原子分子.所以,稀有气体既是由分子构成,又可以说是由原子构成.氖气也是稀有气体的一种, ...

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漫畫大英百科【物理化學3】:物質的特性

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臺北市北一女中生物科教師   蔡任圃/臺北市中山女高生物科教師   鄭一亭/科學教育博士、國小教師   鄭雅方/彰化縣橋頭國小   賴以威/數感實驗室共同創辦人、數學作家   賴擁憲/宜蘭縣頭城國小   藍弘偉/新北市裕德中小學   顏弘志博士/臺中市新平國小   羅焜哲/臺南市臺南一中物理科教師   蘇銘祥/臺中市臺中教大實小、臺中市自然科輔導團輔導員     (以上推薦按姓氏筆劃排序)   國內老師讚譽   活潑逗趣的介紹方式讓人想一頁接著一頁讀下去;簡單易懂的解說方式讓人能明瞭深奧的天體知識。──臺北市民生國小‧吳欣蓉     不管是當媽媽還是老師,發現孩子對於圖像幾乎無法拒絕其誘惑,

如果又是漫畫,魅力更是加乘加倍。當今電子用品當道,如何從中脫身?三采漫畫百科全書應該可以助師長一臂之力。──臺南市南大附小‧溫美玉     真希望小時候有這麼讚的書可讀!等不及看到全部!──慈濟大學生命科學助理教授‧葉綠舒(老葉的生物化學部落客)     這套書出版後,我們終於可以說「看漫畫的小孩不會變壞」──數感實驗室共同創辦人、數學作家‧賴以威   (以上推薦按姓氏筆劃排序)

溶劑型環保光阻剝離劑之製備及性能評估

為了解決%E6%B0%96%E6%B0%A3的問題,作者江宥燊 這樣論述:

本研究係針對IC黃光製程中,晶圓在金屬濺鍍後塗佈光阻,經預烤、曝光、顯影、硬烤、金屬蝕刻後,將曝光產生圖形的光阻以溶劑型光阻剝離劑進行剝離。光阻剝離劑主成份從早期的四氯化二碳、鄰苯二酚到鹼性水溶性成分,到近期常見的二甲基亞碸(DMSO)、1-甲基吡咯烷酮(NMP,1-Methyl-2-pyrrolidone),其中1-甲基吡咯烷酮(CAS number:872-50-4)因具有生殖毒性被納入歐盟化學總署公告高度關切物質(SVHC)清單,2018年4月18日歐盟執行委員會於將NMP納入REACH附件17限制清單,故含有NMP的光阻剝離劑對環境友善與人體有相當的破壞性,不符合永續環保需求,需評估

測試其他對人體與環境低危害的物料來進行取代。本研究將針對環保物料取代NMP調配而成的光阻剝離劑進行物料、製程品質上的實驗評估其可行性,實驗結果顯示選擇溶解度參數相近NMP的環保型溶劑物料配製而成的光阻剝離劑,在對去除光阻能力與其他特性要求能達到製程需求,可適用在半導體光阻剝離製程中使用。

熱穩態金屬與超導材料奈米針:製備與場發射特性

為了解決%E6%B0%96%E6%B0%A3的問題,作者侯勁龍 這樣論述:

本研究以超高真空場離子顯微鏡研究超導材料奈米針的特性。我們使用鈮發展了一套可靠的熱穩態奈米針製程,其針頂分佈形貌為{100}、{310}、{110}、{123} 與{111}面排列而成,且在軸向形成四個{310}面環繞擴張而堆疊的奈米凸起,此結構可作為一個收斂的場發射束使用。經過氖氣或氙氣不同覆量的鋪覆後發現可降低{100}面的功函數,其中使用氖氣可降至最低的功函數條件為5朗繆爾,其值為3.63±0.08 eV,使用氙氣可降至最低的功函數條件為1.7朗繆爾,其值為3.50±0.04 eV,並此最佳條件下均可增加場發射電流的穩定性。此熱穩態的鈮奈米針結構在經過氧氣的場效蝕刻過程後,依然可藉由熱

處理而再次重現。最後我們也討論了其他材料系統的熱穩態奈米針特性。