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類鑽石碳薄膜紅光與紅外光光感測器

為了解決光感測器種類的問題，作者何承易 這樣論述：

摘要 IAbstract III誌謝 V目錄 VII圖目錄 X表目錄 XVIII第一章、緒論 11.1前言 11.2研究動機 3第二章、文獻回顧 42.1 類鑽石薄膜之結構與性質 42.3 類鑽石薄膜之拉曼圖譜 52.2 類鑽石薄膜之成長機制 72.4 類鑽石薄膜製備之方法 92.4.1 射頻電漿放電化學氣相沉積法(Radio-Frequency CVD Method) 102.4.2 離子化化學氣相沉積法(PIG plasma CVD Method) 102.4.3 電漿輔助化學氣相沉積複合法或自我放電法(Plasma CVD-composite method or self discha

rge method) 102.4.4 電弧物理氣相沉積法(Arc PVD method) 112.4.5 濺鍍法(Sputtering) 112.5 薄膜電阻 122.5.1 影響薄膜電阻性質的因素 122.5.2類鑽石碳薄膜電阻實例 132.6光感測器元件 142.6.1光感測器原理 142.6.2光感測器種類[23] 162.6.3 p-n接面光二極體 172.6.4量測V-t曲線雜訊處理 172.7.類鑽石碳光感測器元件之文獻探討 18第三章、實驗儀器與實驗方法 233.1實驗材料與藥品規格 233.2實驗設備與分析儀器 243.3實驗原理 253.3.1濺鍍系統(Sputter

ing system) 253.3.1.a 單支磁控式濺鍍槍與基板偏壓濺鍍系統 263.3.1.b 共磁控式濺鍍槍濺鍍系統 263.3.2場發射掃描式電子顯微鏡(Field Emission Scanning Electron Microscopy, FESEM) 273.3.3顯微拉曼光譜儀(Micro-Raman spectroscopy) 283.3.4紫外光-可見光分析儀(UV–vis Spectrophotometer) 293.3.5四點探針(Four-point probe) 313.3.6電阻溫度係數(TCR)量測系統 323.3.7霍爾效應量測系統 333.3.8光感測

器量測系統 363.4實驗步驟 373.4.1實驗流程與分析 373.4.2基板清洗 373.4.3類鑽石碳(DLC)薄膜製備 383.4.4光感測器元件製備 38第四章、結果與討論 414.1類鑽石碳薄膜之結構與性質探討 414.1.1表面形貌結果分析 414.1.2拉曼圖譜結果分析 444.1.3 UV- vis光譜結果分析 474.1.4電阻率量測結果分析 504.1.5電阻溫度係數(TCR)量測結果分析 524.1.6霍爾效應量測結果分析 534.2類鑽石碳光感測器元件量測結果分析 574.2.1光源632 nm LED 照射類鑽石碳光感測器電性分析 574.2.2光源875 nm L

ED 照射類鑽石碳光感測器電性分析 674.2.3光源934 nm LED 照射類鑽石碳光感測器電性分析 824.2.4類鑽石碳光感測器之研究結果 86第五章、結論 94第六章、未來展望 95第七章、參考文獻 96附錄 101

優化自動感應測距沖水系統之研究

為了解決光感測器種類的問題，作者朱雪芬 這樣論述：

日常中馬桶及小便斗自動感應沖水器裝置為紅外線發光二極體感應，但常有誤判情形，只要有物體靠近便會觸發感測器，且由於該感應器僅能進行單純之距離感應，並無法有效判斷使用者與馬桶及小便斗之相對位置，所以就算使用者站的位置離馬桶及小便斗太遠，該感應器仍會啟動止水閥進行沖水，不僅如此，該感應器更會因為其他路過之物體或物體之顏色不同而有所誤判。紅外線發光二極體感測模組無法正確計算出使用者的使用位置，會因使用者身體稍微移動而感測誤判使用者離開，而有誤判動作沖水情形，長期下來便會造成水資源之嚴重浪費。本論文使用雷射脈衝測距技術，將設於小便斗上方，並使控制單元與小便斗之止水閥連接，而利用雷射感測單元判斷出使用者

與小便斗之相對位置，由控制單元開啟止水閥進行沖水。使達到可正確及精準辨識使用者之位置、避免誤判、以及有效節省水資源之功效。雷射為人工光源，具有不同於其他光的特性，具備高強度、單色光、相干性、方向性等優點，故能準確判斷被測物位置。現今雷射技術也越來越成熟，價格也越來越低，因此實用化技術被廣泛開發，應用於生活中各種領域中。