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國立清華大學 動力機械工程學系 劉通敏、黃智永所指導 余弘毅的 側壁加熱矩形微流道於不同下壁面材質下之共軛熱傳分析 （2021），提出加熱器 Heater關鍵因素是什麼，來自於微流道、共軛熱傳、軸向熱傳、TSP、Micro-PIV、數值模擬。

而第二篇論文國立陽明交通大學 電機工程學系 邱俊城所指導 楊自森的 以開關模式DC-DC轉換器技術低功耗微型加熱器模塊的設計與實現 （2021），提出因為有 微加熱器、開關式電源轉換技術、數位類比轉換器、類比數位轉換器的重點而找出了 加熱器 Heater的解答。

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側壁加熱矩形微流道於不同下壁面材質下之共軛熱傳分析

為了解決加熱器 Heater的問題，作者余弘毅 這樣論述：

本研究通過實驗的方式探究截面尺寸為500 μm × 100 μm的微流道之側壁加熱熱傳現象。實驗中採用微粒子影像測速技術(Micro-Particle Image Velocimetry, Micro-PIV)測量雷諾數為20時流場的跨向速度分佈，藉由溫度螢光感測塗料(Temperature Sensitive Paint, TSP)測量螢光溶液的溫度分佈，通過加熱方向的溫度梯度計算壁面的熱通量，並最終得到沿流動方向的紐塞數分佈。實驗結果表明除靠近加熱源一側外，流道遠離加熱源一側壁面也存在溫度梯度分佈，有熱量輸入流道，存在共軛熱傳現象。本研究在數值模擬利用Ansys Fluent軟體，仿照實

驗台進構建計算區域，使用與實驗相同的邊界條件進行共軛熱傳數值計算，模擬結果與實驗結果吻合，證明了共軛熱傳模型的可靠度。共軛熱傳對流場的影響主要為各壁面熱量分佈不均，在基礎案例（雷諾數Re=20且相對熱傳導係數kb/kf=1.79）中，若僅考慮加熱源總熱量從靠近加熱源壁面傳入流體之熱量，紐塞數Nu=0.87，考慮四個壁面傳入流體之熱量，紐塞數Nu=4.55，忽略共軛熱傳將嚴重低估流道的熱傳性能。本研究分析流道下壁面kb/kf在0.21~6.48範圍內對共軛熱傳現象之影響，結果顯示，當kb/kf增加，流道下壁面吸收的熱量占流道吸收總熱量比率由37%提升至90%，紐塞數Nu由3.07提升至5.75，

但流體吸收的總熱量卻先上升後下降，在kb/kf=1.79時存在極大值。本研究亦分析了Re在10-320範圍內對共軛熱傳行為之影響，結果表明Re越大，流道吸收熱量越多，下壁面發生的軸向熱傳現象程度降低。流體Nu達到完全熱發展的距離隨之增加。本研究觀察到了前人文獻中的出口效應，出口效應的程度與影響長度Lend隨kb/kf增加而增加，在0.21

以開關模式DC-DC轉換器技術低功耗微型加熱器模塊的設計與實現

為了解決加熱器 Heater的問題，作者楊自森 這樣論述：

本論文提出並設計出一個低功耗微加熱器模組，此模組主要四個部份: 微加熱器、驅動電路、數位類比轉換器和類比數位轉換器。在物聯網應用中的感測節點上，大部份都已經走向低消耗, 這裡包有 MCU and 無線通訊部份，而微加熱器部份一直被忽略掉。微加熱器之應用非常廣泛，從環境監測、工業上的加工與測量到醫學上分析等等都可以運用到，因此建立一個低功耗之微加熱器模組是有其必要性的。在本論文中，微加熱器在低成本的BULK CMOS製程上實現，由測試驗證結果顯示, 熱均勻性及可靠度都表現優異。有別於傳統微加熱器驅動方法，改以開關式電源轉換技術作為微加熱驅動，在寬溫度範圍輸出下仍然維持很高的電能轉換熱能效率。數

位類比轉換器部份採用常在音頻技術中出現三階三角積分 current steering架構，最終達到低功耗且高解析度目的 SNDR 大於80dB,功耗 小於 500uA 這裡包裝了內部振盪器及帶隙參考電壓。類比數位轉換器部份採用常被用於傳感器量測之二階三角積分調變技術，利用行為模型先分析出SDM 中每一個部份的參數才能達到低功耗且高解析度目的，最終測試結果 SNDR 大於 80dB, 功耗 小於 410uA。運用本論文所提微加熱器模組應用於氣體感測，用poly silicon 作為感測電極，與微加熱器在Bulk CMOS 製程下實現，在CMOS 製程結束後, 進行wafer磨薄、背向蝕刻、沉積S

NO2 及燒結，最後進行了酒精氣體測試。證明了本文之提案可行性,有利於微加器在 IoT 及相關應用之發展。

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