氖氣製程的問題，透過圖書和論文來找解法和答案更準確安心。 我們找到下列包括價格和評價等資訊懶人包

利用壓電致動平台進行滾珠螺桿驅動系統之補償控制

為了解決氖氣製程的問題，作者張閔翔 這樣論述：

本研究嘗試以壓電致動器平台進行滾珠螺桿驅動平台位移誤差之補正。研究中所使用之壓電致動器具有高精度、快速響應、低耗電、低電磁噪聲，而且具備體積小，適合用來建置高速、低行程之穩定補正系統。但由於壓電致動器具有磁滯性與摩擦力等非線性時變等特性，因此開迴路控制往往無法達到精密定位的要求。所以本研究建置光學尺感測器之壓電致動平台閉迴路控制系統，使用PID控制器進行平台之定位控制，並將壓電致動平台搭建於滾珠螺桿驅動平台上，以針對滾珠螺桿驅動平台位移誤差進行補正，如此可以提高滾珠螺桿驅動平台之定位精度。本研究並利用雷射干涉儀作為輔助量測系統以確保壓電致動平台能達到準確的補償量。

溶劑型環保光阻剝離劑之製備及性能評估

為了解決氖氣製程的問題，作者江宥燊 這樣論述：

本研究係針對IC黃光製程中，晶圓在金屬濺鍍後塗佈光阻，經預烤、曝光、顯影、硬烤、金屬蝕刻後，將曝光產生圖形的光阻以溶劑型光阻剝離劑進行剝離。光阻剝離劑主成份從早期的四氯化二碳、鄰苯二酚到鹼性水溶性成分，到近期常見的二甲基亞碸（DMSO）、1-甲基吡咯烷酮（NMP，1-Methyl-2-pyrrolidone），其中1-甲基吡咯烷酮（CAS number：872-50-4）因具有生殖毒性被納入歐盟化學總署公告高度關切物質（SVHC）清單，2018年4月18日歐盟執行委員會於將NMP納入REACH附件17限制清單，故含有NMP的光阻剝離劑對環境友善與人體有相當的破壞性，不符合永續環保需求，需評估

測試其他對人體與環境低危害的物料來進行取代。本研究將針對環保物料取代NMP調配而成的光阻剝離劑進行物料、製程品質上的實驗評估其可行性，實驗結果顯示選擇溶解度參數相近NMP的環保型溶劑物料配製而成的光阻剝離劑，在對去除光阻能力與其他特性要求能達到製程需求，可適用在半導體光阻剝離製程中使用。