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應用CFDRC模擬設計接觸與非接觸式真空吸盤

為了解決氣壓懸吊優缺點的問題，作者詹典育 這樣論述：

本研究旨在應用CFD軟體模擬設計數種全新開發真空吸盤。所設計新型的真空吸盤其產生真空方法不同以往傳統使用。真空泵抽走空氣的真空產生法，而是改良以輸入氣體至吸盤而產生真空效應。第一個握把型吸盤設計即是應用此真空產生概念，然而從實驗中得知吸盤的優缺點，加以改善其缺點，進而演化設計出接觸型真空吸盤、第一代非接觸真空吸盤以及第二代非接觸真空吸盤。一開始吸盤無法作消耗氣體流量控制，改良成接觸型吸盤能作氣體流量手動控制，再改良成能以閉迴路電控方式控制氣體的流量。而吸住物件之方式由接觸式改良為非接觸式，顯示每個吸盤都在修正前一個吸盤的缺點，並維持優點，而最新的第二代非接觸式真空吸盤之優點為噪音小、產生較高

的真空值及以漂浮方式吸住物件等等，但目前第二代非接觸式真空吸盤，尚有瞬間吸住物件時會撞擊到真空吸盤的問題存在，在未來如能克服此問題，將能確保物件表面不會損傷而能應用在半導體或晶圓廠中。