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應用於PCB曝光設備之強化玻璃變形量兼具環保拋光研磨加工技術

為了解決玻璃拋光 費用的問題，作者謝明峯 這樣論述：

本研究主要是將舊品強化玻璃回收再利用，藉由研磨拋光設備技術的開發，讓損傷而不堪使用的曝光機玻璃，透過研磨拋光恢復玻璃品質，甚至超過原先的透光度與表面平整度規格。 針對PCB板廠所使用曝光設備上的耗材，先將已受損的強化玻璃進行回收，運用實驗將其玻璃表面的刮傷與砸點痕跡，經由儀器量測判定砸點深度需≦0.25mm及平整度≦0.68mm才可達到強化玻璃回收研磨拋光的標準值，並透過精密單面拋光機參數設定時間、壓力，使拋光墊的發熱源引起氧化铈粉與玻璃之間的變化，再以拋光墊來去除此受損玻璃的缺陷。此實驗運用拋光時間30min，分別設定拋光壓力數值200KG、300KG、400KG，經由拋光一次檢測得知4

00KG玻璃切削值為0.08mm為最佳化切削數據，此最佳化參數運用於變形量及砸傷深度，並藉由不同UV光源所照射365~385波長，此實驗拋光後玻璃透光度，從回收玻璃後未加工研磨前88%，經由拋光研磨後的度光度可達90%以上最佳化。 探討強化玻璃加工處理完畢，最終實驗階段再於驗證其線路解析能力比設備原本開出規格條件下線路更加優化，藉由玻璃拋光後的平整性及解析的效能可達到2mil線路。 此研究探討能夠為客戶降低因玻璃損傷而須購買新玻璃的成本，畢竟玻璃回收再拋光加工與購買新玻璃的費用差價至幾萬。從而使客戶降低玻璃耗損，除了能在市場競爭中，提供更優異的曝光設備能力外，更能夠提供研磨拋光製程服務。