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高科技廠環境與安全風險等級鑑別及改善效率評估之研究-以製程尾氣處理設備為例

為了解決白鐵排氣管缺點的問題，作者楊善友 這樣論述：

近年來隨著半導體工業持續快速發展，半導體業在製造過程中因應製程不斷提升，所使用之化學物品和特殊氣體，不僅種類複雜且特殊，所衍生之污染性氣體危害性也就越來越嚴重，如果不加以妥善處理，其所潛在之危害風險對環境品質人員健康及安全造成的衝擊是不可忽視及值得探討研究。 本研究案例主要探討國內某半導體廠製程尾氣處理設備之危害異常案例並使用風險矩陣方式評估其風險等級，藉由風險等級評估瞭解該設備危害等級高低，再使用特性要因分析方式將不可接受之風險等級再次進行分析並找出發生原因及潛藏之危害，綜合探討其改善對策以期待提升該設備之安全性與降低危害風險之績效。 本研究除了驗證該風險評估工具及改善對策之可

行性外，亦可應用於業界各類型機器設備風險等級評估及異常危害因素分析，作為改善作業環境安全及降低危害異常發生率之參考。