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利用音洩法評估含銅矽穿孔矽晶片材料強度測試

為了解決矽膠墊 推薦的問題,作者呂峰銓 這樣論述:

目錄指導教授推薦書口試委員會審定書誌謝 iii中文摘要 ivAbstract v目錄 vii圖目錄 xi表目錄 xv第一章 緒論 11.1 研究背景與動機 11.2 文獻回顧 31.3 研究目的 5第二章 音洩法測試方法 62.1 實驗設備與器具 62.2 測試試片與破壞之定義 72.3 音洩法使用之晶片強度測試方法以及其假設 8第三章 研究方法 93.1 理論解析 93.2 音洩法 13第四章 結果與討論 164.1 音洩法背景波測試

164.2 點負載在彈性基礎的平板測試法結合音洩法系統-施加負載於銅矽穿孔處 174.2.1音洩系統於晶片破壞前之結果 184.3 線負載在彈性基礎的平板測試法結合音洩法系統-施加負載於銅矽穿孔處 194.3.1 音洩系統於晶片破壞前之結果 194.4 點負載在彈性基礎的平板測試法結合音洩法系統-施加負載於遠離銅矽穿孔處 204.4.1 音洩系統於晶片破壞前之訊號結果 204.5 點負載在彈性基礎的平板測試法結合音洩法系統-施加負載於不含銅矽穿孔晶片 214.5.1 音洩系統於晶片破壞前之訊號結果 214.6 晶片最大破壞應力之比較

224.7 手動之點負載在彈性基礎的平板測試法於不含矽穿孔之晶片-音洩系統敏感度分析結果 234.7.1 測試平台置於桌子 234.7.2 測試平台置於磅秤 234.8 手動之點負載在彈性基礎的平板測試法於含矽穿孔晶片結合音洩系統之結果-測試平台於桌子上 244.8.1 晶片破壞前之訊號結果 244.9 衰減係數評估結果 254.9.1 矽膠墊軟硬度之衰減係數評估 254.9.2 耦合劑影響衰減係數之評估 264.10 點負載在彈性基礎的平板測試法於含矽穿孔晶片結合音洩系統之結果-探頭和矽膠軟墊之間塗上耦合劑 274.10.1 音洩系統於晶

片破壞前之訊號結果 274.11 晶片內部之銅矽穿孔觀察 274.11.1 點負載在彈性基礎的平板測試法-施加80%破壞荷重於銅矽穿孔處之掃描式電子顯微鏡分析結果 284.11.2 線負載在彈性基礎的平板測試法-施加80%破壞荷重於銅矽穿孔處之掃描式電子顯微鏡分析結果 294.12 點負載在彈性基礎的平板測試法結合音洩法系統-施加負載於不含銅矽穿孔晶片在晶片破裂前之訊號 294.12.1 不含銅矽穿孔晶片翹起來離開矽膠墊 294.12.2 不含銅矽穿孔晶片線路面上鋁接合墊壓碎 30第五章 結論 31參考文獻 33附錄 35圖目錄圖1.

1 銅材料矽穿孔示意圖 39圖2.1 微拉伸壓縮試驗機實體圖 40圖2.2 點負載之施載器 41圖2.3 線負載之施載器之斷面 42圖2.4 矽膠墊之細部圖 43圖2.5 音洩法控制系統實體圖 44圖2.6 含銅矽穿孔晶片之線路面與研磨面細部圖 45圖2.7 含銅矽穿孔晶片之尺寸示意圖 46圖2.8 晶片破壞起始點示意圖 47圖2.9 點負載在彈性基礎的平板測試法設備配置圖 48圖2.10 線負載在彈性基礎的平板測試法設備配置圖 49圖3.1 半徑為R1及R2之兩彈性體,受一力量為P之負載時,兩物體接觸之圓面積半徑為c 5

0圖3.2 半徑為R1之物體與一平面體(半徑為無窮大),受一力量為P之負載時,兩物體接觸之圓面積半徑為c 51圖3.3 音洩檢測的原理 52圖3.4 典型音洩訊號 53圖4.1 音洩法之背景波(a)在微拉伸壓縮試驗機上及訊號放大圖(b)晶片破壞訊號圖 54圖4.2 音洩法之背景波(a)在磅秤上及訊號放大圖(b)晶片破壞訊號圖 55圖4.3音洩法之背景波(a)在桌子上及訊號放大圖(b)晶片破壞訊號圖 56圖4.4 點負載在彈性基礎的平板測試法-施加負載於銅矽穿孔處之(a)三組負載位移結合音洩法分析結果圖 57圖4.4 點負載在彈性基礎的平板-施加負載於銅

矽穿孔處之(b)負載位移結果圖(c)典型晶片破壞模式 58圖4.5 線負載在彈性基礎的平板測試法-施加負載於銅矽穿孔處之(a)三組負載位移結合音洩法分析結果圖 59圖4.5 線負載在彈性基礎的平板-施加負載於銅矽穿孔處之(b)負載位移結果圖(c)典型晶片破壞模式 60圖4.6 點負載在彈性基礎的平板測試法-施加負載於遠離銅矽穿孔處之(a)三組負載位移結合音洩法分析結果圖 61圖4.6 點負載在彈性基礎的平板-施加負載於遠離銅矽穿孔處之(b)負載位移結果圖(c)典型晶片破壞模式 62圖4.7 點負載在彈性基礎的平板測試法-施加負載於不含銅矽穿孔晶片之(a)三組負載位

移結合音洩法分析結果圖 63圖4.7 點負載在彈性基礎的平板-施加負載於不含銅矽穿孔晶片之(b)負載位移結果圖 64圖4.8 施加負載於銅矽穿孔處、遠離矽穿孔處、不含銅矽穿孔晶片之最大平均荷重及標準差值(厚度為50 μm、75 μm) 65圖4.9 於點負載在彈性基礎的平板測試法中施加負載於銅矽穿孔處與施加負載於遠離銅矽穿孔處的晶片實驗強度結果之比較 66圖4.10 手壓點負載在彈性基礎的平板測試法於桌子上音洩系統敏感度測試訊號強度大小 67圖4.11 手壓點負載在彈性基礎的平板測試法於磅秤上音洩系統敏感度測試訊號強度大小 68圖4.12 手壓點負載在彈性基

礎的平板測試法-施加負載於銅矽穿孔處之三組音洩法分析結果圖 69圖4.13 衰減係數結果圖(a)軟矽膠墊(b)硬矽膠墊 70圖4.14 衰減係數結果圖(a)低黏度(b)高黏度(c)無耦合劑 71圖4.15 點負載在塗上耦合劑彈性基礎的平板測試法-施加負載於銅矽穿孔處之(a)三組負載位移結合音洩法分析結果圖 72圖4.15 點負載在塗上耦合劑彈性基礎的平板-施加負載於銅矽穿孔處之(b)負載位移結果圖 73圖4.16 未測試晶片內部之銅矽穿孔 74圖4.17 點負載在彈性基礎的平板測試法-施加負載到破壞最大荷重的80%(p=140 gf)於銅矽穿孔處之銅矽穿孔

75圖4.18 線負載在彈性基礎的平板測試法-施加負載到破壞最大荷重的80%(p=450 gf)於銅矽穿孔處之銅矽穿孔 76圖4.19 不含銅矽穿孔晶片翹起來離開矽膠墊(a)實體圖(b)訊號圖 77圖4.20 不含銅矽穿孔晶片線路面上鋁接合墊壓碎細部圖 78表目錄表一 背景波訊號強度分析以及晶片破壞時的訊號強度 35表二 手壓點負載在彈性基礎的平板敏感度測試 36表三 矽膠墊軟硬度衰減係數評估 37表四 耦合劑衰減係數評估 38