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國立交通大學 工學院半導體材料與製程設備學程 潘扶民所指導 謝紹偉的 高溫鋁製程乾蝕刻底切最佳化之研究 (2015),提出金屬層架關鍵因素是什麼,來自於金屬層蝕刻、底切、高溫鋁製程、金屬線底切。

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接下來讓我們看這些論文和書籍都說些什麼吧:

除了金屬層架,大家也想知道這些:

不用再收!隨意丟 不會亂的定位丟丟收納法

為了解決金屬層架的問題,作者Emi 這樣論述:

  好想盡可能以最少的時間、體力,   成就一個方便全家人使用的家園,   舒舒服服地過日子……     現實卻是:   奔波於職場、家庭之間,幾乎沒有時間留給自己,   距離理想的生活很遠,讓你心生沮喪嗎!   只做最基本的家事,媽媽的壓力減輕了,家人的生活才能幸福美滿   透過和家人一起打造家園的過程,一步步過「我們的家」的生活   日本年輕媽媽的偶像,養育一對雙胞台同時創業,超人氣省時收納部落客Emi是這麼做的:   1只做最基本的家事讓壓力獲得紓解   在一對雙胞胎兒女一歲半時復職的我,當時每天忙得團團轉,為了減輕自己的生活壓力,決定先不追求諸事完美,洗好的衣物採用「丟丟收納法」,

就是不摺直接「丟」進收納系統;使用的餐具也不講究,每天都用同一套。為了不想讓自己一個人承擔所有的家事,還特地規劃了一套方便全家人使用的收納系統。   2讓孩子先學會自理生活比學才藝語言要緊   我認為與其讓學齡前的孩子學習語言或數字,先學會處理自己個人周遭的大小瑣事才是人生中最重要的事情。當人們面對人生低潮時,一旦發洩完自己的情緒後,勢必被迫思考哪一個對自己比較重要,該選擇要還是不要,甚至必須排列優先順序。個人認為這樣的流程和整理收納的一連串步驟同出一轍。   3沒了「該有的物品」也沒問題   很多朋友認為一旦結了婚,有了家庭,有一整套餐桌、椅子、沙發、茶几這樣的傢具是件理所當然的事情,不

過我個人卻認為應該先讓大腦歸零,從「自己希望過怎麼樣的生活?」開始思考才是關鍵。   4 打造可讓孩子自己動手做的環境   進入夏季,一整天下來孩子們總要向我喊好多次「我要喝茶~」。因此讓我想到了在家裡設置「麥茶自由喝」的環境。在廚房和起居室之間擺一張小板凳,配備裝有冰鎮麥茶的水瓶和耐摔的塑膠杯。這樣一來既沒有危險性,孩子們也可以自己動手喝茶。不僅自己輕鬆了許多,孩子們似乎也因為可以自己動手做而感到欣喜。   5成為父母後,依舊維持自己的喜好   我有個喜歡釣魚的帥氣老爸,擅長車縫而令人感到自豪的老媽。事實上我認為專注在個人興趣上的大人最令人著迷,因此我們夫妻倆從不壓抑,反而非常更樂意在日

常生活中和孩子們一起分享我們的興趣,孩子也會感染到從事興趣的樂趣。   每日超過7000人造訪、日本超人氣整理收納部落格「OURHOME」格主Emi,   2008年開始從事室內裝飾收納部落格寫作,   分享一邊工作一邊養育雙胞胎的「時短收納」,以及「孩子的照片處理」報導大受歡迎。   本書是她傾囊相授兼顧家庭和工作的輕鬆秘訣,   想當從容優雅的媽媽,只要掌握讓生活變簡單的訣竅,   建立全家人都理解的收納系統、不用折的丟丟收納法,   不需要花大錢、時間和精力,   就能有效率、不費力地打理家務,讓家井然有序又有風格,   和孩子、先生一起輕鬆過生活 作者簡介 Emi   一九

八一年出生,居住在日本兵庫縣。大學畢業後任職於知名郵購商。活躍於家飾佈置&收納的採購、企劃領域。二○○八年開始經營部落格『OURHOME』。部落格文章高度展現身為一對雙胞胎兒女的職業婦女經驗,同時也因為「快速收納」、「子女照片的整理」等文章,開始受到關注。如今已成為單日PV(瀏覽)次數高達約15,000次的人氣部落格。二○○九年取得整理收納諮詢顧問1級資格。二○一二年以整理收納諮詢顧問之姿獨立創業。除開辦照片整理研討會、提供收納規劃、撰寫專欄外,也持續拓展商品的企劃、銷售等多角化事業。二○一四年發表作品《因為簡單,再忙都能堅持下去!子女照片的整理技巧》(小刊社)   OURHOME HP o

urhome305.com   OURHOME部落格 ourhome305.wxblog.jp 譯者簡介 陳湘媮   假時在學校的推薦下,到日商擔任口譯員。在這樣的因緣際會下愛上了口筆譯的工作。目前為專職的口筆譯者。「架け橋」(中文:橋樑)是我最喜歡的日文單字之一,也希望藉由個人的日文能力做好中日之間的橋樑。 2 序言 6 Concep1 我心目中的簡樸生活 8 Concep2 讓OURHOME=我們的家! 10 OURHOME PROFILE 11 chapter 1 家人聚集的地方 Living and Dining room 16 起居室空間大解析! 18 挑

選起居室用品的原則 19 常保起居室清新整潔的秘訣 20 藉親手粉刷牆面讓家成為真正屬於自己的家 21 跳脫原有思考模式,選擇拼接式地毯 22 還是坐在地板的生活型態最舒適 23 家人能夠放鬆=朋友也能放鬆 24 透過黑板勤做溝通 25 把陽台視為起居室的一部分 Information space 29 資訊站空間大解析! 30 挑選資訊站用品的原則 32 沒有適用的大型收納就自己動手做 33 收納盒的神奇魔法 34 方便自己未來使用時的標籤術 36 COLUMN 1 與先生資訊共享 37 chapter 2 家事 Kitchen 42 廚房空間大解析! 44 挑選廚房用品的原則 46 聰明

選用金屬層架 47 廚房同樣一類一收納! 48 廚房小道具一款各一 49 沒了「該有的物品」也沒問題 50 藉精簡做菜步驟以節省時間 51 打造可讓孩子自己動手做的環境 Washroom 54 盥洗室空間大解析! 56 沒了門板,便捷性UP 57 托特包彩妝品收納法 58 家裡整整齊齊,家事輕輕鬆鬆!我家的洗衣規劃 60 幫助孩子「自己做好」個人日常準備的「置物櫃」 61 「自己的事情自己處理」每天回家後的時間安排 Toilet 63 廁所空間大解析! 64 不鋪設廁所踏墊 65 做好「隨手」清理的規劃 Closet room 67 衣帽間大解析! 68 拉近衣帽間與玄關的距離 69 規劃具彈

性調整機制的衣帽間 70 盡可能減少摺疊式收納 71 暫存空間威力驚人! Bedroom 73 衣櫃空間大解析! 寢室 Entrance 75 玄關空間大解析! 76 實用的個人專屬收納空間 77 擺在玄關有助提升便捷性的是什麼呢? 78 藉玄關旁的落地鏡,讓氣氛煥然一新 79 玄關是攔截物品的關卡 80 不讓非必要性物品入侵起居室的玄關設計 82 別為善用偷吃步而感到愧疚。輕鬆做好家事的創意一次大公開 84 COLUMN 2 打造選配風格的筆記 85 chapter 3 養兒育女 Kid’s space 92 兒童空間大解析! 94 慎選可隨子女成長轉換用途的傢具 95 方便玩&簡單收的

規劃設計 96 可長期使用的繪本展示架 97 可伴隨一生的生日禮物 98 訂出兒子、女兒個人的專屬色彩 99 善用收納盒珍藏孩子的作品 100 每晚睡前做好整理工作 101 孩子怨聲載道時,正是最好的時機! 102 任何事情都和孩子一起! 103 刻意不上網查詢育兒時面臨的困擾 104 帶著孩子一起出遊去! 106 支持我在慌亂中照顧好一對雙胞胎兒女的個人愛用品 108 COLUMN 3 希望同時兼顧孩子的「喜好」 109 chapter 4 子女照片的整理 112 在我們家,每年產出兩本相簿 114 嚴選「珍藏型相簿」 118 舉棋不定時收藏在「簡易型相簿」 120 列印心得分享 121

攝影心得分享 122 為了能夠持之以恆的預備知識 整理子女照片的Q&A 124 結語 推薦文 澤爸   家的樣貌,是一個藍圖或是夢想的起點.佈置完的家,乾淨又整齊,總是期許著『完美的家』可以永久地保持下去.然後隨著生活的忙碌以及孩子的加入,東西越堆越多,即便有想要等孩子睡了或是放假時再整理的念頭,但每到此時卻早已累攤,想著下次再整理吧.然而這個『下次』,又不知是何時何日了。     忙碌的日子中,依然可以照著我們的想法好好過生活嗎?     『不用再收!隨意丟不會亂的定位丟丟收納法』教導著我們,如何在忙碌的生活裡,運用巧思的累積,和家人們一起動手做.使用輕鬆又自在的方式,還有讓家人

們覺得舒適且不帶壓力的寬鬆原則,把「家」隨時都能維持在整潔、舒服又放鬆之所在。     『不用再收!隨意丟不會亂的定位丟丟收納法』是以家中的所有成員為出發點,把所有人都拉進來,一起想一想「我們希望過怎麼樣的生活?」,再一起思考「對我們家而言,哪些是必要?哪些是非必要?」在彼此激盪、溝通與討論之下,找到相互之間的最大公約數.透過擷取每個人意見的優點,慢慢拉近彼此的距離,進而讓我們一步一步成為真正的「家人」。     家是我們最溫暖的避風港,不要為了家事而不斷地埋怨或指責對方,而是要想想辦法、用些技巧,和孩子一起輕鬆過生活。 Concep1我心目中的簡樸生活   因為整理收納諮詢顧問這個稱號,

有些時候讓人誤會我在生活上極為嚴肅、細心。不過或許令人感到意外的是,我個人的口頭禪卻是「真麻煩!」。 個人的目標,並不是將任何一個角落都收納得毫無缺點,而是:即便在忙碌的生活中,依然能夠照自己的想法好好過生活……的一種整體性收納原則。丟入型的收納也好,不摺疊的收納也罷,「只要家人覺得舒適便可」的一種寬鬆原則。個人心目中的簡樸生活,就是「盡可能以最少的時間、體力,成就一個方便全家人使用的家園,舒舒服服地過日子」。 具體而言,首先可藉改變對家中現有物品的觀察角度,試著應用在不同的地方開始著手。舉例來說,拆除因為要開開關關而覺得麻煩的洗臉台門板,造就一個單一動作便可取得毛巾的環境。基本上就是巧思的累

積,以些許不同的角度看待現有的物品,在既不費時,又不費力的情況下,讓事情變得更加得心應手。相信經過這些努力的結果,家人便得以舒舒服服過日子=簡樸生活。   在收納方面,從過去到現在我個人經常拿來作參考的就是公共空間,例如學校或托兒所。進出這些地方的人,具備不同的性格,整理方式自然也不盡相同,然而整體環境卻也算是整齊清潔。經過思考後,個人的結論是,第一,慎選經常使用的物品,且數量不要多。其次是善用層架、籃/盒、標籤做收納。既簡單又易懂。對任何人而言都好用,也好收,而這不就是個實實在在的好辦法了,不是嗎?   換一個模式思考家這個問題,雖說是家人,但說穿了家其實也是一個性格不同的人們一起生活的地方

。因此我學習公共空間的原則作了以下的歸納,首先是僅審選並持有經常使用的物品,其次則是採用以層架、籃/盒、標籤做收納的方式。個人相信在這樣的模式下,便能實現方便全家人使用的舒適簡樸生活。 Concep2讓OURHOME=我們的家!   「因為隔間不好」、「因為太狹窄」、「因為床是這種顏色」。像這樣一邊推託,一邊打造更為理想的居住環境其實不難。然而無法順利成就一個令人滿意的家,或許有各式各樣的理由。但若因為這樣就放棄的話,「OURHOME」,讓全家人都舒適的「我們的家」不就永遠難以實現了,不是嗎?

金屬層架進入發燒排行的影片

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這次在淘寶爆買了133公斤!
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但這次買到的真的品質都很好
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高溫鋁製程乾蝕刻底切最佳化之研究

為了解決金屬層架的問題,作者謝紹偉 這樣論述:

為了達到降低生產成本的目的,本論文以六吋晶圓金屬層之鎢塞製程的設計法則(design rule)下,將金屬層之鎢塞製程改為高溫鋁塞的製程。由於鋁塞製程中需要大開口方式的傾斜導槽式接觸窗,也就是接觸窗上方開口較大,由於材料已經改變,選擇比也不同,因此在金屬蝕刻製程中,如果金屬側壁保護不足,容易造成鋁塞接觸窗底切(undercut)的現象,本論文研究金屬乾蝕刻接觸窗底切的最佳化,找出適用的金屬蝕刻程式參數條件。本文主要研究金屬線下方的接觸窗底切之改善,在金屬蝕刻製程中,藉由蝕刻程式架構分析、關鍵因子分析、及調整金屬蝕刻程式的參數(如射頻電源/ 偏壓射頻電源 /三氯化硼(BCl3) /氯(Cl2)

/氮氣(N2)/氬氣(Ar)),再利用實驗計畫手法得到各因子的最佳條件及最適當的程式來改善底切。鋁蝕刻主要的蝕刻氣體為氯氣(Cl2),蝕刻行為為化學性,形同等向性蝕刻,如果對金屬側壁的保護不足,容易造成金屬側壁的侵蝕或底切。在過蝕刻步驟將氯(Cl2)與三氯化硼(BCl3)比例由一比一,增加到一比三,降低金屬鋁(Al)與介電層(IMD)的選擇比,可以增加側壁保護改善底切。同時增加射頻電源(RF Top)與偏壓射頻電源(RF Bot)或加大偏壓射頻電源(RF Bot) 也可獲得底切的改善且較顯著。射頻電源(RF Top)與偏壓射頻電源(RF Bot)比例及氯(Cl2)與三氯化硼(BCl3)比例,如

果比例同時都偏低,極容易造成底切。底切與射頻電源(Soure RF)電漿功率及氯氣(Cl2)成正比,與偏壓射頻電源(Bias RF)電漿功率及三氯化硼(BCl3)成反比。透過電漿解離的氯離子越多,等向性的蝕刻機率越高,底切的機率相對的高。射頻電源(Soure RF)電漿功率可以增加非等向性蝕刻,三氯化硼(BCl3)除了幫助非等向性的蝕刻,也提供側壁的保護降低底切的機率。改善底切可以朝增加偏壓射頻電源(Bias RF)電漿功率及三氯化硼(BCl3),降低射頻電源(Soure RF)電漿功率及氯氣(Cl2)的方向著手,等同增加物理性的轟擊(physical bombardment),減少化學性的反

應((chemical reactivity)對底切有改善的作用。本實驗也證明,在設計法則不變的情況下,將鎢塞製程改鋁塞製程是可行的。