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研究所2023試題大補帖【熱力學與流體力學】(109~111年試題)[適用臺大、清大、陽明交通、成大、中央、中正、中山、北科大研究所考試]

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具有綠光雷射結晶多晶矽通道之T型閘薄膜電晶體射頻特性分析

為了解決陽明研究所111的問題，作者葉宇婕 這樣論述：

本論文中，我們研究具有T型閘極、空氣邊襯及矽化閘/源/汲極多晶矽薄膜電晶體的射頻特性。為了提升多晶矽薄膜的晶粒尺寸，我們使用綠光奈秒雷射來製備厚度為50 nm與100 nm的多晶矽薄膜。結果顯示厚度為100 nm的薄膜能得到等效尺寸大於1 μm的晶粒大小，遠優於50 nm厚的多晶矽薄膜。我們於元件製作時採用了新穎的T型閘極技術，不僅降低元件的閘極電阻，也使電晶體具有比微影技術解析極限更小的閘極線寬，使轉導得以大幅提升。我們也分別利用高溫的快速熱退火及低溫的微波退火來活化源汲極雜質。在通道厚度為100 nm並以快速熱退火進行源汲極活化的多晶矽薄膜電晶體中，對最小通道長度達124 nm之元件，截

止頻率可達59.7 GHz，最大震盪頻率亦可達34 GHz。具有相同通道厚度並以微波退火來活化雜質的電晶體中，當通道長度微縮至102 nm，元件的截止頻率更高達63.6 GHz，最大震盪頻率亦可達29.7 GHz。相較過往文獻報導的多晶矽薄膜元件，我們以微波活化源汲極的薄膜電晶體達到了最高的截止頻率。

研究所2023試題大補帖【工程力學】(109~111年試題)[適用台大、陽明交通、清大、成大、中央、中正、中山、北科大研究所考試]

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以單體及聚合形態鋁-鐵混凝劑雙加藥處理含藻原水

為了解決陽明研究所111的問題，作者梁文龍 這樣論述：

水體富營養化引起的水庫藻華現象帶來對後續飲用水處理需提升無機混凝劑加藥 量的要求。針對該高鹼度原水，增加鋁鹽會產生殘餘鋁超標的風險，而增加鐵鹽則伴 隨著用藥成本提升及濾床堵塞的難題。為解決單加藥處理含藻原水的不足，本研究通 過結合不同形態(單體態、聚合態)鋁基混凝劑(氯化鋁 AlCl3、聚氯化鋁 PACl)分別 搭配鐵基混凝劑(氯化鐵 FeCl3、聚硅酸鐵 PSI)以不同的雙加藥方式(組合及順序) 混凝處理含藻原水，藉由濁度及沉澱後上澄液過濾性評估各加藥方式的混凝沉澱效果。 研究發現在最適劑量下，PACl 搭配 FeCl3 以「PACl→FeCl3」的加藥順序可以實現藻體 去除率達 93.8

%，比相反順序「FeCl3→PACl」(去除率 81.1%)高超過 12%;近似地， 以「PACl→PSI」順序處理藻體去除率為 94%，高於「PSI→PACl」去除率 89%。對比加藥順序「鐵劑→PACl」，「PACl→鐵劑」可先提升顆粒表面電荷，顆粒開始聚集時間縮短近 1/2 且慢混終點膠羽平均粒徑提升超過 20%。此外，「PACl→鐵劑」所形成大膠羽 (180~400μm) 比重高，膠羽沉澱速度比「鐵劑→PACl」更快，而且沉澱後上澄液小膠羽 (20~180 μm) 濃度更低、過濾性亦較佳。此外，AlCl3 搭配不同形態鐵劑以不同加藥順 序處理含藻原水藻體去除效果差異不大(約 94%)，

但皆存在出水殘餘鋁超標的問題。 因此，雙加藥的最適加藥策略為 PACl 搭配鐵基混凝劑尤其是 PSI 並以「PACl→鐵劑」 的加藥順序處理含藻原水，可以實現理想的藻體去除率及出水過濾性。