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國立臺灣科技大學 電機工程系 林長華所指導 李仁豪的 可調式高壓脈衝電源供應器之模組化設計 （2018），提出靜電吸盤esc關鍵因素是什麼，來自於高壓脈衝電源供應器、全橋LLC諧振轉換器、模組化、輸入並聯輸出串聯、均壓、突發模式。
可調式高壓脈衝電源供應器之模組化設計
為了解決靜電吸盤esc 的問題，作者李仁豪 這樣論述：
本文旨在實現可調式高壓脈衝電源供應器之模組化設計。所提之系統包括:一組直流/直流轉換器及一組輸出脈寬控制電路，其中，直流/直流轉換器採用全橋LLC諧振電路作為單一模組的主電路架構，並使用兩模組進行輸入並聯輸出串聯(Input-Parallel Output-Series, IPOS)的模組連接，以增加其輸出電壓與輸出功率。其次，所使用之數位控制器結合人機介面控制，可根據調整不同參數值來設定不同之輸出規格。此外，除了藉由讀取電壓回授取樣值，並計算其變動量，以調變系統操作頻率，使輸出電壓達到預定之設定值外，還可藉由讀取各模組之均壓回授取樣值，並計算其變動量，以調變責任週期，使模組間之輸出電壓達到
均衡。再者，本文在脈寬控制策略上加入突發模式(Burst Mode)，以消除電壓突波與諧振電流突波。最後，本文根據所挑選之系統參數進行電腦模擬，並以實測結果驗證所提系統之可行性與有效性。