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國立清華大學 工程與系統科學系 歐陽敏盛、周懷樸所指導 賴明宏的 拘束調整修正模態超音波致動器之設計與應用 (2011),提出380碟盤厚度關鍵因素是什麼,來自於拘束調整修正模態、超音波致動器、入平面模態、順滑模態控制器。

而第二篇論文國立臺灣大學 機械工程學研究所 楊申語所指導 趙啟仲的 軟模氣體熱壓應用於大面積微奈米壓印製程研究 (2003),提出因為有 氣體熱壓、奈米壓印、PDMS軟模、大面積壓印的重點而找出了 380碟盤厚度的解答。

接下來讓我們看這些論文和書籍都說些什麼吧:

除了380碟盤厚度,大家也想知道這些:

拘束調整修正模態超音波致動器之設計與應用

為了解決380碟盤厚度的問題,作者賴明宏 這樣論述:

本論文提出具有拘束調整修正模態(Constraint-Tuning Modified-Mode: CTMM)機制的單片壓電振動子,並設計一新型薄盤超音波致動器推動線性平台加以驗證之。透過具模態參與係數的模態擴充技術及拘束波Green Function的理論推導,獲得內部拘束薄圓板修正模態的估測公式,可用來解釋此新型致動器的作動機制。將正確分佈的四只螺絲施加於單片壓電薄盤上,超音波修正模態的致動機制會被產生及傳播。入平面振動模態(In-plane vibration modes)可被施加在壓電振動子上的螺釘拘束修正及調整。為了實現此致動器雙向平衡的結構力,導入結構阻尼概念,利用有限元素分析軟體

ANSYS的自然模態、強迫諧振及阻抗比較來設計拘束分佈,解決理論模態加入多重拘束不易獲得數值解的困擾。因此,選擇兩個不同修正模態可與壓電材料產生機電共振者,做為此致動器的驅動模態,以提高機電轉換效率。將所設計的致動器及單相雙頻LC諧振驅動電路,取代推動光學台車的DC馬達及其齒輪組並保留原光碟機控制器,輔助光學致動器尋軌及讀取光碟片資料與播放影片均可獲得想要的功能。另依據施加在CTMM超音波致動之驅動電壓及預力的變化,探究其機電共振頻率偏移及推動平台時不工作區(dead zone)響應的非線性現象,這些非線性行為可藉由具輸出biases的PID型順滑模態控制器(SMC)抑制補償。使用系統鑑別法獲

得線性平台的近似二階模型,提供PID-based SMC等效控制項的設計。透過模型誤差的估測,切換控制項的設計可被使用來補償在機電耦合下振動子共振頻率偏移的特性。於線性平台軌跡追蹤實驗中,使用目標命令塑形函數(shapping function)來匹配系統的響應速度,實驗結果顯示PID-based SMC控制器使所提之CTMM致動器雙向移動線性滑軌位置具有抗雜訊能力,定位解析度可達微米等級,其行程可達mm級之長程控制的能力,驗證了CTMM致動器的理論、設計與實現的一致性及可控性。此CTMM超音波致動器厚度僅3 mm,採用此型致動器可協助開發須薄形化的致動裝置。

軟模氣體熱壓應用於大面積微奈米壓印製程研究

為了解決380碟盤厚度的問題,作者趙啟仲 這樣論述:

摘 要本論文致力於大面積熱壓式微奈米壓印製程探討。當前的熱壓式壓印製程,有效壓印面積無法有效提升,主要原因在於施壓機構使用壓板,壓板施壓容易導致壓印力分佈不均;壓印模具若是屬於矽基底或玻璃基底模,容易發生破裂。而且當使用在奈米壓印時,由於阻劑塗佈層極薄(約數百奈米),有效的壓印面積往往受限於模具與基板之平坦度或壓印盤面之平坦度,這些常造成模具與基板間的接觸不完整。 本研究使用PDMS軟模並使用氣體施壓進行微奈米壓印。本研究第一部份比較PDMS軟模與矽模、鎳模在氣體壓印均勻度、有效壓印面積及模具表面抗沾黏能力。結果發現,利用PDMS精確翻鑄微奈米結構,再搭配氣體進行熱壓印成型,PDMS軟

模可與基材表面完整接觸,因此有效壓印面積大幅提昇,且達到均勻的壓印效果,成型結構的精度品質也能各處維持一致;而且PDMS軟模表面自由能低,壓印時不易與阻劑沾黏,是製程上一大優勢,且PDMS軟模製作容易、翻鑄時間短,可有效降低成本。 本研究進一步有系統探討PDSM軟模氣體熱壓印製程,包括:解決軟模壓印變形問題、探討製程參數對轉寫效果之影響、評估PDMS模具壽命。結果發現:在軟模四周使用高度小於軟模且緊密配合的支承載具(Holder),可避免壓印變形。製程參數中,熱壓壓力影響不大,但會使殘留層厚度不同;熱壓溫度取決於阻劑PMMA之分子量大小,一般需高於Tg溫度40∼60℃;再者熱壓時間影響不

大,30秒∼5分鐘皆可成型。以反覆施壓及升降溫來評估壽命,發現在20週期內未見缺陷;但以實際壓印測試,結果顯示模具壽命與結構的特徵尺寸、深寬比及週期值有關。 最後並實際進行6吋及12吋大面積壓印實驗,並嘗試壓印曲面。實驗結果顯示,以PDMS軟模搭配氣體加壓方式(軟模與軟壓),確實在大面積壓印有極佳的表現,並且可以在曲面上成旦F到均勻的壓印。本研究可壓印出最小特徵尺寸約為300nm。