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空氣中苯、甲苯、乙苯和二甲苯濃度測定熱脫附方法開發

為了解決SEMI E187 PDF的問題，作者林郁嘉 這樣論述：

近年來苯、甲苯、乙苯和二甲苯(benzene, toluene, ethylbenzene and xylenes, BTEX)的職業暴露限值(occupational exposure limits, OELs)不斷下修，尤其是美國政府工業衛生師協會(American Conference of Governmental Industrial Hygienists, ACGIH)的恕限值(threshold limit values, TLV)對苯的8小時時量加權平均暴露濃度限值(8-hour time-weighted average exposure limit, TWA)已降低至0.

5 ppm。原有使用活性碳做為採樣介質的測定方法，幾乎無法測得逼近苯暴露限值的空氣濃度。本研究中以填充Carbopack X吸附劑的熱脫附管，做為BTEX的採樣介質，採樣流量率設定為50 mL/min。以熱脫附系統搭配裝置火燄離子偵測器的氣相色層分析儀，同時定量分析四種化合物。配製BTEX混合標準樣本，以製作化合物的高低濃度定量分析檢量線，要求檢量線的決定係數r2值在0.995以上，評估各個化合物的平均脫附效率和可量化偵測極限(limit of quantitation, LOQ)，以了解可能測定誤差。採樣分析方法的測試，使用標準氣體產生系統，製作固定範圍濃度標準空氣，分別以開發的新方法和過去

的舊方法進行採樣分析進行測試比對。從分別以固定範圍的三種濃度BETX標準空氣，以兩種方法採樣測定測試比對，定量分析結果顯示：以熱脫附管進行採樣測定分析確實可獲得BETX較低的LOQ (0.04~0.29 ppb)，這些化合物的平均脫附效率的範圍為98.5~110.1%。新舊兩種方法在對測試BTEX濃度範圍的測定，發現存在統計上顯著意義的相關性。對於空氣中BETX採樣測定，相較於活性碳管，熱脫附管能提供更方便、準確且符合現在低濃度暴露採樣分析測定需求，以熱脫附管取代活性碳管實施空氣低濃度BTEX採樣測定有其可行性。