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高科技製程、廠務及安全監控系統本質較安全設計策略應用研究

為了解決bruno壓力鍋的問題，作者張國基 這樣論述：

高科技製程在台灣為主要經濟活動之一，其擁有原物料製造、前期加工、產品製造及最終處理供應鏈。在供應鏈中的任何公司都是重要一份子，任何災害事故都將造成供應鏈中斷，進而造成高科技廠無法持續運作的困境，而危害源也就必須從製程端到機台端乃至於廠務端處處存在，所以想要完全預防各階段之潛在危害，就必須面面俱到考量來達成本質較安全目的。本研究方法係以本質較安全設計策略為主體，運用ISD策略探討NAND Flash元件的應用、建立及驗證ISD策略於爐管溫度分佈模式與膜厚模式應用、運用探討ISD策略爐管機台設備完整性、以ISD策略探討黃光製程機台運送及廠務化學品供應系統應用、運用ISD策略設計感測器及系統等，以

驗證製程、廠務及安全監控系統之本質較安全設計策略應用。研究成果方面，本研究以矽甲烷更換為TEOS進行製程設計改良，驗證在滿足既有產品規格要求下，獲得較安全的等級成果；且爐管溫度分布模式，發現在關閉2個機台加熱區下可減少輸出功率達44%，如此整廠產能利用率為97.7%條件下，可降低121.4 KWH用電量；又爐管膜厚模式亦經模擬與實驗驗證，可減量矽甲烷用量579.6L，在使用40L高壓鋼瓶條件下總需求量為27支鋼瓶；又本研究建立爐管機台關鍵性項目設備完整性檢查表經專家訪談發現高階管理階層承諾與教育訓練為應克服之關鍵；廠務系統方面，本研究利用FMEA與FDS進行掃描式曝光機台設備之搬運模擬與改善驗

證及化學品供應系統ISD策略改善實廠驗證後，進行製程能力確認，結果均符合預期；本研究亦以ISD策略原則開發壓力傳感系統雛形，經測試可測得Vout為真空度為8.71*10-2~1.27*10-4托爾Torr間，且進行溫度(範圍為0℃~250℃一大氣壓下)及濕度(範圍為15%~70%)環境實驗，其結果仍可正常運作測得壓力變化。本研究完整運用ISD策略來驗證製程、廠務及安全監控系應用可行性，這在國內推動本質化安全管理有顯著價值，並建立適當之應用方案，可供業界安全管理人員參考應用，深信得以大幅提升高科技廠安全等級，這是本研究之重要貢獻。