trident 660選配的問題，透過圖書和論文來找解法和答案更準確安心。 我們找到下列包括價格和評價等資訊懶人包

應用於矽光子光纖陀螺儀之氮化矽光柵耦合器與多模干涉波導交叉設計

為了解決trident 660選配的問題，作者林穎璨 這樣論述：

本論文主要研究干涉式光纖陀螺儀中用於感測旋轉角速度的光纖線圈在光積體化時所面臨的耦合問題。光學陀螺儀是用於偵測旋轉角速度的常用裝置，傳統的干涉式光纖陀螺儀由光源、分光器、相位調變器、光纖線圈等數個分立式元件構成，為了微縮與整合光纖陀螺儀系統，近年來出現利用絕緣體覆矽(Silicon on insulator, SOI)平台製作的積體化光學陀螺儀，能夠將大部分的元件以矽光子技術微縮至單一晶片上。在光纖陀螺儀中，低損耗的光纖線圈對量測旋轉角速度的精確度和穩定性至關重要，然而，積體化光纖陀螺儀中作為感測線圈的矽螺旋波導由於具有較高的芯包層折射率差，因此波導側壁粗糙所導致的散射損耗會比光纖線圈大得多

，故本次研究我們選用折射率較低的氮化矽作為低損耗波導線圈材料，並設計波導交叉和光柵耦合器兩種元件，以解決感測線圈和單模波導之間的耦合問題。波導交叉元件部份，我們採用基於多模干涉(Multimode-interference, MMI)的交叉結構，波導層的厚度為300 nm。此設計利用多模干涉原理使光在準TE0與TE2之間轉換形成週期化圖形，配合放置在波導與MMI之間的過渡錐形降低模場直徑不匹配帶來的損耗，透過調整錐形結構與匹配MMI週期長度，能使光在通過波導交叉點時的繞射現象大幅減少。我們模擬了兩種不同的設計：單波導交叉與波導交叉陣列，模擬結果顯示單波導交叉穿透率為98.7 %，而波導交叉陣列

中平均單一交叉點損耗為99.6 %，等週期光柵耦合器部分經過結構優化，在淺蝕刻時具有49.2 %的理論耦合效率，全蝕刻時效率則為33.6 %。根據模擬結果顯示，基於多模干涉的波導交叉在損耗、頻寬和製程誤差容忍度方面優於光柵耦合器，因此我們選擇採取邊緣耦合方式，製作波導交叉結構將光從感測線圈中央引出。為了量測波導交叉元件的損耗並降低量測誤差，我們分別串接1~20個單波導交叉以及10~500個波導交叉陣列，利用光通過不同數量交叉產生的能量差異推算單個交叉點的損耗。量測結果顯示，單波導交叉損耗約為0.34 dB，而波導交叉陣列中每個交叉點平均損耗為0.025 dB，交叉串擾-61.9 dB，在152

5 nm~1611 nm的量測區間內單波導交叉穿透率差異小於0.48 dB。量測結果證明本論文設計之多模干涉波導交叉元件具有寬頻、低損耗、低串擾的優點，有望應用於矽光子干涉式光纖陀螺儀的感測線圈中。