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奈米噴塗SnO2薄膜之特性研究

為了解決vacuum期刊的問題，作者嚴浚凱 這樣論述：

本研究將二氧化錫（Tin Oxide，SnO2）粉末以溶膠-凝膠法(Sol-Gel Route)制備成奈米漿料，並用奈米噴塗法噴塗於鈉玻璃（Soda-Lime Glass，SLG）基板上，探討其表面及結構。將經過超音波震盪的二氧化錫奈米漿料以液體流量1mL/min、氣體流量10L/min、噴塗高度225mm、基板溫度400℃分別噴塗4、6及8次，進而探討噴塗時不同厚度的特性。在未進行熱處理的情況下，量測發現基板溫度為400℃時，噴塗8次的試片，表面皆有嚴重龜裂之情形，且發生沉積不均勻的現象；噴塗6次時，雖有龜裂情形發生，但較不嚴重，沉積均勻性也較好。接著將三組試片分別以450℃、500℃及5

50℃進行熱處理。結果顯示，經由熱處理後的試片皆有改善其龜裂狀況，其中550℃熱處理之試片已有明顯晶相產生，其表面結構也最為緊實、較無孔洞。經XRD量測後，試片繞射峰角度均落在26.5度左右，結晶面為（110）。另外，基板溫度將影響漿料噴灑於基板上時乾燥快慢，因此以基板溫度300℃分別噴塗4、6及8次經熱處理後與上述試片做比較，得知本實驗以300℃噴塗6次，450℃熱處理之參數最佳。