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TixZrNbTaFeBy 高熵合金薄膜的微結構與綜合性 能評估

為了解決CR-V 2021 規格 表的問題，作者甘昉蓉 這樣論述：

與傳統合金相比，高熵合金 (HEA) 薄膜由於其獨特的性能而被廣泛研究中。在這項研究中，第一部分在 AISI304 不銹鋼、AISI420 不銹鋼與 P(100)型矽晶片等基材表面使用等莫耳比TiZrNbTaFe 高熵靶材與 TiB2 靶材共濺鍍的方式，改變高熵合金靶的脈衝直流(MF)電源功率來鍍TiZrNbTaFeB 高熵合金薄膜。探討改變高熵合金靶材之 MF 電源功率對於七元 TiZrNbTaFeB 高熵合金薄膜之元素比例、微觀結構、硬度、沉積速率、附著性與耐腐蝕等性質的影響。第二部份使用較佳鍍膜參數，改變高熵合金靶的高功率脈衝磁控濺鍍(HiPIMS)之電源功率，探討不同 HiPIMS

電源瓦數對於七元 TiZrNbTaFeB 高熵合金薄膜之各種性質影響。從綜合兩部分結果可觀察到，不論高熵合金靶材是使用 MF 電源或 HiPIMS 電源，當鍍製之高熵合金薄膜的(Ti+B)/(Zr+Ta+Nb+Fe) 成分比例較低，薄膜為非晶結構，且硬度較低；當薄膜具有較高(Ti+B)/(Zr+Ta+Nb+Fe) 成分比例時，薄膜呈現奈米複合結構，分別可獲得 21.0 GPa 和 18.5 GPa 的高硬度；43.9 N 和 50.6 N 的高附著臨界荷重 (LC3)和優良的耐腐蝕性。本研究顯示七元TiZrNbTaFeB 高熵合金薄膜可提升不銹鋼底材於嚴苛腐蝕環境中的抗蝕能力而具有極佳之應用價

值潛力。