氧氣製造機壽命的問題，透過圖書和論文來找解法和答案更準確安心。 我們找到下列包括價格和評價等資訊懶人包

日本NHK年度暢銷雙套書【二冊套書】(來自日本NHK 打造健康身體的食材大全+來自日本NHK 從日常飲食調理體質的身體大全全彩圖解)

為了解決氧氣製造機壽命的問題，作者池上文雄,加藤光敏,河野博,三浦理代,山本謙治,池上文雄,樫村亞希子,加藤智弘,川俣貴一,松田早苗 這樣論述：

◤ BOOK 1來自日本NHK 打造健康身體的食材大全◢ 最具公信力的日本放送協會，《NHK今日料理》月刊60週年紀念大作， 完整收錄超過1000種食材＆營養素情報！知識滿載，健康滿點！   　　★ 日本知名營養師、藥劑師、醫學、農學博士、飲食記者聯手出擊。 　　★ 全彩印刷、條目清晰、快速易查，現代家庭必備的食材百科！ 　　★ 從蔬菜、水果、穀物．豆類、肉．蛋．乳製品、海鮮……無所不包。 　　★ 完整介紹食材選購、保存法、營養素等，讀完不禁驚呼：「原來如此！」 　　★ 超值附錄食材產季、烹調搭配法、對症功效、保健專欄，一冊就讀懂！   　　一日三餐是日常所需，但在繁忙的現代生活中， 　

　每次外食前，你是否留意過，店家究竟使用了何種食材？ 　　偶爾自己煮，除了比量、比價、比新鮮之外，你還能如何選購？   　　購買生鮮蔬果，你可曾好奇高麗菜、番茄等，究竟對身體有什麼好處？ 　　上館子吃牛排，沙朗、菲力、肋眼是指哪些部位？何以價差會這麼大？ 　　晚餐想吃魚，但你分得出青背魚、紅肉魚、白肉魚的差別嗎？ 　　想降低精緻澱粉攝取，主食中的大麥與白米比例怎樣搭配最健康？   　　本書由全日本最具公信力的NHK出版策畫， 　　更是《NHK今日料理》月刊創刊60週年紀念大作； 　　聯合知名營養師、藥劑師、醫學、農學博士、飲食記者等權威， 　　以深入淺出的筆法，告訴你每天吃下肚的食物，究竟藏有

什麼祕密？ 　　以及各類食材該怎麼選購、烹煮、保存，才能吃得美味又健康？   　　自古有云：「醫食同源」，意即食物本身就擁有改變身體的能力， 　　人吃下了什麼，就會逐步決定身體的樣貌。 　　想要延命養壽，除了培養良好的生活型態，日常飲食更是重要關鍵， 　　只要掌握基礎知識，任何人都能攝取均衡的營養、打造健康的身體。   　　下列這些關於生活中常見食材的大哉問，你能清楚回答嗎？   　　▍番茄也能當藥材？而且風味越酸，藥效越好？為什麼？ 　　▍被公認為美容聖品的小黃瓜，熟食的功效竟比生吃還強？ 　　▍毛豆竟有類似女性賀爾蒙的激素，可回春、抗氧化、預防骨質疏鬆？ 　　▍奇異果有助肉類消化，但怎麼吃

最營養？答案令人大呼意外！ 　　▍西瓜籽竟然有助降低膽固醇？東南亞地區還會特地煎來吃？  　　▍牡丹、楓葉、櫻花……竟是日料點餐時的肉類暗語？ 　　▍雞肉好吃與否竟有方程式可循？最大關鍵在於飼養期？ 　　▍為何「熟成牛肉」比一般牛肉還好吃？兩者原來差在這裡！ 　　▍鮪魚罐頭裡竟然沒有鮪魚？那……裡頭裝的是什麼？ 　　▍常用於火鍋湯頭的昆布，為何會被日本人當成訂婚賀禮？ 　　▍埃及豔后的養顏絕招竟是芝麻？除了內服還能外用？ 　　▍風行日本的萬用鹽麴，在家就能輕鬆做，原料200g，夠你用兩週！   　　◤ BOOK 2來自日本NHK 從日常飲食調理體質的身體大全全彩圖解◢   　　日本最具公信力的

NHK精心策畫 　　｢零赤字｣最高人體健康目標達成計畫 　　召集日本知名醫師、藥學博士、營養師聯手編纂 　　以｢營養醫學｣為根基，結合全方位的｢居家護理自療法｣ 　　精準對策易懂易學，適合各種體質，忙人懶人都能輕鬆上手   　　●日本知名醫師、藥學博士、營養師聯手打造，最具公信力的健康大百科。 　　●身體機能、常見症狀完全圖解，迅速找出身體不適的可能原因和因應方法。 　　●最符合現代人需求的整合醫學，西醫健檢、中醫診斷、漢方藥草同時參照。 　　●130道美味食譜，步驟簡便不麻煩，懶人和新手都能輕鬆上菜。   　　￭ 身體結構與小零件，能養護、訓練到多強大？ 　　沒看過這本書，別說你了解自己的身

體！   　　本書堪稱史上資訊最完整、解說最詳實、療法最全方位的身體自我護理指南，大量圖片清楚講述人體的每一個結構、臟器、神經和血管網絡，以及肉眼看不見的各種體內運作機轉、人體與外在環境的感應與交遞，讓我們對自己的身體能夠知其然更知其所以然。 　　 　　專業醫師、藥學博士和營養學家等權威專家，對每一處人體部位都提出相應的食療補養建議、常見疾病徵兆的觀測、健康檢查的數值提醒；對於輕微不適感、未病階段的小病痛鼓勵大家積極自療，多種配套方法如中醫漢方、微汗運動、穴位按摩、適當藥品與保養品的輔助等，讓各種體質的人都能找到自己的最佳保護與建設方案，養出復元快速、不易生病的好體質。   　　人體醫學尚未落

實於科普通識，多數人對自己的身體其實認識很少，除了顯見的肌骨結構和臟腑器官，其實還有許多精巧的零件和運轉機制牽動著健康，身體處處充滿奧妙，隱藏著健康密碼，一起來看看你了解多少：   　　☉「晨型人」或「夜貓子」由基因決定？ 　　生理時鐘位於腦部的下視丘，而控制這個生理時鐘的基因數量，會決定你是「晨型人」或「夜貓子」。然而生理時鐘也是可以被馴化的，經由生活習慣的改變，你可以把目前不太健康的作息調整過來，早睡早起、睡好睡飽是比較健康的作法。   　　☉女性為什麼比男性容易便祕？ 　　女性普遍來說腹肌力較差，大腸推擠糞便的力道較弱。尤其女性在生理前或懷孕初期特別容易便祕，因為黃體荷爾蒙發出指令，讓水

分或鹽分留在體內，腸壁吸收水分後，糞便就會變硬。可藉由攝取足量纖維質、多喝水和加強腹部運動來改善。   　　☉睡到一半為何會「鬼壓床」？ 　　壓力大、不規律的生活或時差等，都是「鬼壓床」的主因。鬼壓床是人體睡覺時動眼期出現「睡眠麻痺」的現象，因脊髓神經受到壓迫，肌肉動不了，身體才無法移動，睡覺前要先讓自己好好放鬆再上床。   　　書中還有許多有趣的知識點，例如：你知道什麼是「幽靈血管」？肚子咕咕就是餓了嗎？唾液能夠治療蛀牙？大腦裡藏著麻醉劑？人體還有｢另一個胃｣？｢耳石｣脫落是掉到哪裡了？喉嚨也有味蕾？｢肝累了｣你有感覺到嗎？……豐富精彩的重要人體冷知識，絕對讓你大開眼界，讀完本書，保證你從吸

進一口氣到放出一個屁，不管是這裡痠還是那裡痛，都會感到安心有靠，豁然開朗：「哇，原來身體是這樣運作的 !」「我知道可以用○○方法來舒緩身體。」   　　［健康御守］身體再小的環節，都可能是健康的破口。   　　￭ 做自己的健康管理師 　　超前養護：體力、自癒力、免疫力一次備齊   　　本書提出四大類實用有效的健康知識應援，並由專家一一詳解，破除各種流傳的迷思懸念，讓你從此能聽得懂、看得出、感覺得到自己的身體正在發出的吶喊和求救訊號：   　　1. 好吃有效的專業營養療法 　　抗病、抗老、抗憂鬱，打造不生病體質！完美打底 　　九成疾病是吃出來的，吃對食物比吃飽更重要。本書由日本知名營養師對人體各

部結構提出專屬的營養建議，也對現代人常見通病如：肥胖、三高、過敏、貧血、失智、憂鬱症、手腳冰冷、骨質疏鬆、肌肉量缺乏等現象，精心設計了 130 道步驟簡單、新手也能輕鬆上菜的營養食譜。   　　☉節食要以「減少體脂肪」為目標，而非「減少體重」 　　每餐應攝取足夠的優質蛋白質與膳食纖維，盡量將醣類食物換成不易讓血糖上升的食物，例如把白飯換成糙米或雜糧飯，巧克力等甜食換成地瓜。   　　☉預防3C惡視力，舒緩眼睛疲勞的食材救星 　　除了適當控制使用電子產品和凝視螢幕的時間，可多攝取富含花青素的藍莓、黑莓果、桑葚、黑豆，富含類胡蘿蔔素或維生素A的胡蘿蔔、青花椰菜、油菜、鰻魚、豬肝，富含葉黃素的甜玉米

、金盞花，這些都是保護眼睛的好食材。   　　☉強化肝功能、避免便祕，牛蒡和蒲公英茶可幫忙 　　牛蒡以「膳食纖維寶庫」聞名，除了可清炒、煮湯，也有做成乾燥牛蒡茶的產品，方便隨時飲用，也可攝取到菊糖和黏液成分。蒲公英根製作的茶包也含菊糖或黏液成分，跟牛蒡一樣可以緩瀉，還能改善肝功能。   　　［健康御守］以健康為基礎的美味，才是最好的食物。   　　2. 「微汗運動」與「內臟按摩」 　　瘦身、健身其實不用那麼累！活血排廢 　　善用呼吸、按摩、穴道按壓的正確技巧，顧健康很簡單！想要擁有好氣色、好體力、甩掉皮下肥油和內臟脂肪，可以利用零碎時間做一些和緩運動，產生漸進式的燃脂效果，微微流汗、一點點喘，

就能達到促進血循、訓練肌力和瘦身的效果，書中推薦走路、健行、登梯、拉筋、伸展操、瑜珈、折返跑、慢跑、游泳、騎腳踏車等很容易實踐的運動，另外還可以幫內臟做按摩，透過腹式呼吸、靜坐調息、身體按摩、穴位按壓，就有很好的排毒、順氣、舒緩神經、活絡血循的效果。樂於去做，能堅持得下去，就是對你效果最好的運動。   　　☉按摩臉部，刺激唾液分泌 　　唾液不但可保護口腔黏膜、沖刷食物殘渣，還能抑制口腔細菌增殖，是預防牙周病、口內炎、口腔潰爛最初的防護武器。但隨著年齡增長，人的唾液腺分泌唾液的能力會變差，可藉由兩頰輕柔的按摩來刺激唾液分泌。另外表情肌的訓練法也可以多多練習，能讓你更容光煥發，顏值加分。   　　

☉刺激穴位，增強免疫力 　　若身體出現違和感，相關的穴位也會加以反映，像是出現皮膚失去彈性、皮膚觸感變硬或一壓就痛等症狀，刺激相對應的穴位可促進氣的流通，改善不適感。本書推薦37個身體重要穴位點，如治療頭痛的百會穴、改善胃痛的率谷穴、放鬆肩頸僵硬的眼點穴、改善眼睛各種症狀和舒緩緊張不安的攢竹穴、心悸胸悶時可以按壓舒緩的內關穴、雙腳浮腫可多多按壓的三陰交穴位等。   　　☉活化腸道，要常做腹式呼吸 　　腹部是人體免疫力重鎮，也稱為人體的第二大腦區。腸道的活動，要靠腹肌運動或橫膈膜上下移動才會活絡。要改善腸道環境，最簡單的方法就是多做腹式呼吸，不要急著算次數，深而緩速的吐納才有健康效果。   　　

［健康御守］柔和乃長壽之道，不用過度重訓並避免運動傷害。   　　3. 「中醫漢方」與「自療調理」 　　不適感癥兆與對應緩解方法 消除病灶 　　人體生病會有過程，在初露癥兆時最好就能積極緩解，斬草除根，避免日後累積成嚴重疾病，造成治療更為困難，除了要養成健康的生活作息和飲食習慣，本書還介紹多種中西醫公認有效的養護方法，如漢方藥草、天然油保養、香氛療法等可放鬆身心，這些方法多屬溫和，可多做嘗試。   　　☉中醫漢方的散、丸、湯、膏、藥草 　　漢方皆以天然植物（少量動物性）為材料，製劑樣式多元化，像是改善牙痛可用立效散、牙齦神經痛用葛根湯、腹部滿脹用當歸湯、手腳冰冷適用桂枝茯苓丸、痔瘡名藥為乙字湯

、慢性胃腸炎用人參湯；藥草類如腹脹時用茴香子、百里香可殺菌、甘草有消炎作用、腹瀉時適用覆盆子葉、緩瀉可用蘆薈；外用紫雲膏可治療肛裂、手腳龜裂、凍傷、燙傷等，各種症狀各有對症解方。 　　 　　☉天然保養油按摩可適用全身 　　天然保養油加上輕柔的按摩，可以改善荷爾蒙分泌失調、老化或清潔過度造成的皮膚乾燥粗大，基本上天然保養油都可以塗抹全身，常見種類如橄欖油、荷荷芭油、甜杏仁油、茶花油、馬油、乳木果油等。使用時避開眼周等敏感部位即可，若本身為敏感膚質，可先諮詢皮膚科醫生再做選擇。   　　☉香氛療法可舒緩更年期與月經失調 　　嗅覺神經可直接傳遞到控制情緒的大腦邊緣系統，人聞到植物的香氣會覺得很放鬆，

是因為處於緊繃狀態的腦部放鬆了，荷爾蒙和自律神經獲得平衡的緣故。容易緊張、焦慮的人可嘗試芳香療法，芳香療法也有助改善更年期的不適，有報告特別指出玫瑰或天竺葵精油，有助緩解更年期特有的自律神經失調；伊蘭油可增加雌激素分泌量；鼠尾草油可改善月經失調、經前症候群。   　　［健康御守］預防勝於治療，及早消除病灶，無病時積極強身。   　　4. 西醫健康檢查定期做 　　健檢重點項目與數值追蹤 積極預防 　　多關心自己的身體，常與身體進行注目對話。在家自我健檢時可觀察身體外形、顏色、腫脹、疼痛、疹子、氣味等，症狀輕微的｢未病｣階段，可運用本書各種調理方式緩解改善，若症狀變重則需要就醫。   　　另外，養

成定期到醫院做健檢的習慣，如唾液檢測、牙周病檢查、肺功能檢測、消化道內視鏡、肝功能、呼吸功能、血壓測量、血液檢查、心電圖、骨量檢測、胃鏡、大腸鏡、糞便潛血、胰澱粉酶、尿酸值、甲狀腺、頭部電腦斷層掃描、癌症篩檢等，要注意各部位檢驗報告的數值，超標時要積極尋找對策改善。   　　［健康御守］借助精密設備與科學量表，可避免重大疾病發生。   　　￭ 聽醫師的話，不輕信網路流言 　　破解冷知識、偽醫訊與商業噱頭   　　你聽過以下這些說法嗎：什麼是｢腹冷｣？什麼是｢肌肉疙瘩｣？智齒沒用最好拔掉？盲腸和脾臟沒什麼用處都可以割掉？｢宿便｣排毒只是生技藥商的噱頭？男人好像沒有更年期？｢氧氣膠囊｣可以消除疲勞

和抗老?禿頭的基因是天生的？多吃藍莓和葉黃素能抵擋 3C 藍光? 各種似是而非的混淆說法，請參照本書專家的正解，別讓健康輸在偽醫訊。   　　☉清宿便排毒只是商人噱頭 　　有些廣告裡號稱只要清除宿便，人就會變美變健康。事實上，所謂的「宿便」並不存在，因為腸道每天都會新陳代謝，老化的腸道不斷剝落排出，糞便不可能一直積在腸道，預防便秘才是務實的做法。   　　☉「高濃度氧氣」無法消除疲勞 　　「氧氣膠囊」號稱在高壓的空間裡吸取高濃度氧氣，可達到消除疲勞或抗老的效果，這並沒有科學實證。疲勞跟血中氧氣濃度幾乎無關，若過度提升血氧濃度，會增加「活性氧」，反而會提高疾病或老化的風險。   　　☉膠原蛋白不

是吃下肚就吸收 　　身體所攝取的膠原蛋白被分解為胺基酸後，需借助維生素於體內合成，並非一吃下去就能吸收。均衡攝取含胺基酸或維生素的食物，從體內改善體質，才能有效預防鬆弛或皺紋。   　　［健康御守］錯誤的醫療資訊，反而會造成疾病與傷害。 　　 　　￭ 藥學博士幫你把關 　　家庭醫護箱常備藥品都OK嗎？ 　　居家常備、藥局常見、自療常用的藥品和保養品，到底安不安全，有沒有效？   　　像是胃藥、退燒藥、止痛劑、整腸劑、便祕藥、止瀉劑、痔瘡藥膏、喉痛糖錠、雌激素保養品、化妝水、防曬乳 SPF 和 PA等，你買對了嗎？用對了嗎？   　　☉胃藥常見有五大類 　　胃藥是很多現代人居家甚至隨身的藥品，常

見的制酸劑可中和過多胃酸，消化劑為促進消化功能，健胃劑可用來增加胃液分泌，組織胺阻斷劑是為了抑制胃酸分泌，保護劑則用來修護胃部受損的黏膜，可諮詢藥師確定你買對了，但不可誤當成保養品而經常、過度的使用。   　　☉整腸劑的功效 　　整腸劑是利用乳酸菌或酪酸等活菌製造而成，主要為了調整腸道環境，也能改善腹瀉或便秘，像比菲德氏菌、糞腸球菌、納豆菌、酪酸菌等菌種，還會加入消脹氣的藥物緩解胃脹感，甚至搭配當藥或牻牛兒苗等生藥。   　　☉低劑量避孕藥 　　一般常作為避孕藥的低劑量口服避孕藥(OC,oral contraceptives)，據說也有改善停經前期或更年期症狀的效果，主要成分為雌激素和黃體素，

一經服用，荷爾蒙分泌速度會變慢，也可改善焦慮、肌膚粗乾或水腫等問題。但它有增加血栓的風險，服用者必須戒菸。 　　 　　［健康御守］養成諮詢醫師、藥師安全用藥的好習慣。    　　￭ 書中還有更多超值情報： 　　＞ 慢走也能越走越瘦的姿勢 　　＞ 讓血管變年輕的伸展操 　　＞ 舒緩不適症狀的穴位按摩法 　　＞ 40 歲後的肌膚保養祕訣 　　＞ 避免更年期障礙的 5 個養護法 　　＞ 芳香療法怎麼玩才紓壓 　　＞ 改善失眠憂鬱的深層睡眠 　　＞ 營養素與漢方生藥的超級食力 　　＞ 病毒細菌、過敏源檢疫站　　 　 　　中文版審定 　　臺北醫學大學食品安全學系副教授／楊惠婷 　　藥學博士、台北醫學大學

藥學系名譽教授／楊玲玲   專業推薦   　　台灣營養學會榮譽理事長／王進崑 　　台大營養學博士／吳映蓉 　　人氣營養師／高敏敏 　　型男主廚／詹姆士 　　《健康2.0》主持人／鄭凱云 　　朝暉中醫診所院長／陳仲豪 　　義守大學學士後中醫學系講座教授／陳旺全 　　郭世芳中醫診所院長／郭世芳 　　前彰化基督教醫院國際癌症e院院長／蔡松彥

護心時代：心血管不暴走!國際血液醫學權威教你守護健康的七堂課

為了解決氧氣製造機壽命的問題，作者伍焜玉 這樣論述：

沒人能否認心臟與血管對人體的重要性， 但你真的認識它且好好保護它了嗎？ 心肌梗塞、血栓、主動脈剝離、狹心症、中風…… 翻開這本書，全面進化你的心血管疾病預防知識！   　　☆最權威！──國際血液與免疫醫學專家、中央研究院院士力作，兼具科普知識與實用方法。 　　☆最全面！──完整介紹各種常聽到卻不見得認識的心血管相關疾病，從成因、用藥到預防方式。全方位認識如何守護心血管。 　　☆最警世！──心血管的罹病年齡逐漸下降，成為全民警訊。即刻開始認識心血管，從了解到持之以恆的預防行動，永遠不嫌早。 　　☆最前瞻！──最新國際心血管相關醫學研究與未來發展可能大公開。   　　心血管疾病大多是可以預防的

， 　　從現在開始，一起守護心血管，守護我們的人生！   　　心臟與血管系統是人體的生命中樞，一旦停止運作，短時間內就能奪走生命。近二十年來，心臟病總位居國人十大死因前三名；十大死因中與心血管相關疾病更占了三到五項。為免遺憾發生，每個人都應該具備心血管的相關知識，為自己或家人的健康把關。   　　基於這樣的理念，國際血液學權威──伍焜玉院士，將其豐厚的心臟、血液、血管醫學相關知識，結合最新研究，完整且全面性地介紹心血管系統在人體中的運作模式，帶你認識血管硬化、血栓、心肌梗塞、狹心症、主動脈剝離、血管瘤、腦中風、糖尿病等等耳熟能詳卻令人聞之色變的問題。一次認識多種快速奪魂的疾病成因、治療方式，並

學會提早預防的方法，更能了解最新醫學研究趨勢與未來發展。   重磅推薦（依姓名筆劃排序）   　　王水深｜輔大醫院院長 　　王宗道｜臺大醫院內科部整合醫學科主任 　　史考特｜醫師／一分鐘健身教室創辦人 　　江安世｜中央研究院院士 　　吳昭軍｜衛生福利部國民健康署署長 　　吳德朗｜長庚醫療體系最高顧問 　　李家維｜前《科學人》雜誌總編輯 　　林文玲｜早安健康媒體平臺創辦人暨執行長 　　梁賡義｜國家衛生研究院院長 　　陳耀昌｜臺大醫學院名譽教授 　　廖俊智｜中央研究院院長 　　魏  崢｜振興醫院院長 　　「醫藥報導沒說完的故事」版主   　　熟讀伍院士的這本精心傑作《護心時代》，學以致用，將可延年

益壽。──王水深（輔大醫院院長）   　　伍院士的這本《護心時代》提供正確客觀的醫學知識，甚至有撥亂反正的作用，至為難得。──王宗道（臺大醫院內科部整合醫學科主任）   　　從心血管疾病的歷史觀、成因、治療、飲食與運動的重要角色，一直到未來的醫療技術展望，鉅細靡遺地將重要的醫學知識濃縮在這本書中。──史考特（醫師／一分鐘健身教室創辦人）   　　看完本書，相信你會跟我一樣覺得明天會更美好，更有動力來維護心血管的健康。──江安世（中央研究院院士）   　　健康端視「做」與「不做」間，期待知識轉化成行動力，讓我們享有健康的心血管，做一個「好心」人。──吳昭軍（衛生福利部國民健康署署長）   　　這

本血液學權威筆下的新書《護心時代》，是一本內容豐富的健康知識參考書，值得推薦給國人閱讀。──吳德朗（長庚醫療體系最高顧問）   　　在這個時間點，伍焜玉院士出版這本《護心時代》，更多了一層救人救心的意義存在。──李家維（前《科學人》雜誌總編輯）   　　這本書透過科學的解析、全視野的生命演化與生態導覽，這些疾病就不再那樣「無常」與「意外」。──林文玲（早安健康媒體平臺創辦人暨執行長）   　　這本講述照顧心血管健康的科普書，將他博大精深的知識轉化為科普著作給大眾閱讀，讓大眾從中獲益，既懂得照顧自己，也能幫助他人。──陳耀昌（臺大醫學院名譽教授）   　　以清晰流暢的文字引述各個有趣的故事，並娓

娓敘述歷史演變，讓讀者能夠瞭解如何與我們的心血管疾病健康共處。──魏崢（振興醫院院長）   　　院士淺白、輕鬆的文字敘述，對血球、心血管結構、心血管疾病機轉、藥物發明等有了縱橫古今、鉅細靡遺的介紹。──「醫藥報導沒說完的故事」版主

臭氧水於晶圓洗淨過程濃度不穩之研究改善

為了解決氧氣製造機壽命的問題，作者張大成 這樣論述：

晶圓洗淨是影響晶圓品質相當重要的一個製程，如對矽晶圓之LPD(Light point de-fect)，MCL( Metal Contamination Level)…等等有重大的影響。清洗製程會視晶圓於各段製程中所要求的機能的不同而使用鹼洗淨、RCA、HF、臭氧水…等等不同的清洗化學品及清洗條件。在於洗淨最後的一個步驟大部分會是使用臭氧水清洗。由於臭氧具有強氧化能力，所以使用臭氧水清洗矽晶圓的主要目的用來是去除附著於晶圓表面的有機物質，微粒子及使金屬離子化降低金屬汙染，並於晶圓表面產生一層氧化膜保護晶圓表面。臭氧水洗淨流程時，會因臭氧水流量變化使得臭氧水濃度產生變化，造成晶圓洗淨品質較無法

控制。另外臭氧水輸送過程容易衰減，所以通常臭氧產生器需要產生較高濃度之臭氧水，到洗淨端才能達到所需要濃度的要求。因枚葉式洗淨機於晶圓洗淨時，臭氧水濃度變化太大，所以清洗條件中，臭氧水濃度範圍設定較寬，例如13±5 mg/L，所以臭氧水濃度於8~18 mg/L之區間都可以。這樣可能造成品質不容易控制及臭氧產生器壽命變短且造成不必要的浪費。本次研究主要是針對臭氧水濃度不穩之問題探討及改善，以維持晶圓之品質要求。