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廢棄污泥做成製程排氣除污利器之研究

為了解決co2鋼瓶價格的問題，作者高慶揚 這樣論述：

半導體工廠的污染產出無可避免，尤其在日益提升的環境保護觀念之下，改善及降低污染顯得更急迫更重要。倘若能夠利用工廠生產過程中所產生的廢棄物，加工處理後當作製程廢氣的過濾裝置，那無疑一舉兩得，使廢物變黃金，兩邊同時減廢，若還能兼具節能的效果，那將會是極為值得研究的課題。本研究利用半導體工廠廢水廠產出的氟化鈣污泥，製成選擇性中孔洞材料與觸媒，將之置入製程排氣管道中吸附HMDS及當作廢氣焚化爐的催化劑，最終將可達成上述成效，解決半導體工廠廠務端的長期困擾。本研究是以溶膠-凝膠法來製備奈米級選擇性中孔洞材料，由於含有CaF2，簡稱為CF-MCM，此選擇性中孔洞材料用來專門吸附HMDS及silane等高

沸點VOCs（Volatile Organic Compounds）。另在製備CF-MCM的過程中加入硝酸鐵製成觸媒，簡稱為Fe-CF-MCM，用以當作焚化爐內的催化劑，不但可以降低焚化爐的燃燒溫度，還同時提升VOCs的裂解效率。新製材料在使用前必然需要妥予實驗其適用性。取坊間最具代表性的中孔洞材料MCM-41當作比對標的，用來比較新製材料的物化特性。並架設VOCs及HMDS之連續反應實驗系統來測試新製材料的吸附功能及適用性。CF-MCM材料需具備高比表面積與高孔洞體積等特性，也需要具有良好的吸附HMDS等高沸點VOCs的能力。Fe-CF-MCM觸媒由於本身也是孔洞性材料，因此同樣必須檢視其特

性，並做壽命測試。本研究預期的效果是消納廢棄物、降低擾人的高沸點VOCs處理問題、降低沸石轉輪與VOCs焚化爐的維修負擔、同時又能達到節能效果。完成上述實驗後還必須在工廠實地做小型測試，驗證可行之後兩種新材料才能真正上線使用。

製備鑭及氮摻雜改質二氧化鈦降解空氣中NOx之研究

為了解決co2鋼瓶價格的問題，作者張家偉 這樣論述：

氮氧化物主要源於工廠製程排放以及汽機車排放，通常是直接排放到大氣環境中，對於人體也有致癌的風險，然而氮氧化物也是最難處理的大氣汙染物之一，所以對於氮氧化物的去除一直是最受關注的議題之一。 本研究利用溶膠凝膠法製備鑭及氮摻雜二氧化鈦，分別進行不同摻雜比例、不同鍛燒溫度、不同鍛燒時間、不同環境濕度及穩定性測試，找出催化劑之最適合條件，最後再利用不同的特性分析來解釋鑭及氮摻雜二氧化鈦具有比純二氧化鈦較優之光催化活性。 結果顯示，鑭摻雜二氧化鈦在質量比為La-3%具有最佳之光催化活性，可見光降解效率為32.0%，模擬太陽光降解效率為38.5%，氮摻雜二氧化鈦在質量比為N-63.3%具有最佳之光催

化活性，可見光降解效率為25.6%，模擬太陽光降解效率為39.3%。鑭及氮摻雜二氧化鈦在鍛燒溫度為500ºC及鍛燒時間為5h具有最佳光催化活性。在不同環境濕度實驗中，鑭及氮二氧化鈦在可見光下降解NO效率下降，而在模擬太陽光下降解NO效率提高，但會產生大量NO2氣體。在穩定性測試中，鑭及氮二氧化鈦在可見光下經過5次測試，效率分別仍有23.4%及17.9%；在模擬太陽光下效率也仍有40.2%及35.2%。