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微型壓力感測器設計與製作

為了解決kPa psi的問題，作者李震倫 這樣論述：

本研究之目的在於設計與製作微型壓力感測器，研究中利用微機電製程技術(Micro-Electro-Mechanical System, MEMS)，製作兩種不同形式的壓力感測器。其一為壓電式壓力感測器，應用了鋯鈦酸鉛(PZT)之壓電材料受到應力時會提供電荷之特性製作出壓電薄膜，並選用二氧化矽(SiO2)的載玻片為基材，基材正面設計下電極、感測層、上電極之圖層。研究中使用溶膠凝膠法(Sol-gel)備製鋯鈦酸鉛Pb(Zr0.58Ti0.42)O3(PZT)之壓電材料，經由X光繞射儀(XRD)晶相分析，其結果成功備製出具有壓電性質之材料；經測試當壓力高於150 kPa時其反應時間與性能佳且感測器開

始放電，成功完成壓電式可行性測試。另一個為具溫度補償之壓阻式壓力感測器，應用了氮化矽薄膜富有韌性之特性，以沉積氮化矽(Si3N4)的矽(Si)材料為感測器之基材，基材正面設計有壓力計及溫度計之兩設計並配合適當的白金壓阻，利用蝕刻矽晶圓之體型微加工方式，製作出氮化矽薄膜感測區域。最後，將感測器於常壓環境下黏於載玻片上。本研究之感測特性實驗係將感測器置於加壓腔體內注入不同氣壓並置放於恆溫箱內，感測層因壓力大小對薄膜產生之變化，同時量測溫度計於不同溫度下之電阻值，即可得知壓力與溫度之關係，再藉由惠斯登將電阻轉換為電壓值做為輸出；在感測範圍內呈現了一個可預期的變化關係，經由多次的量測觀察其感測特性之趨

勢，並藉此決定其最佳之感測模式；結果顯示具溫度補償之壓阻式壓力感測器對於溫度之影響從原本量測誤差值高達± 25 psi降為± 0.5 psi。關鍵字：乾式蝕刻、壓力、 鋯鈦酸鉛、溫度感測器、濕式蝕刻

發展流體與質譜法於奈米粒子與生物樣品之分析

為了解決kPa psi的問題，作者黃馨儀 這樣論述：

奈米技術的快速發展，也提升科學領域在多方面的進展。舉例來說，奈米材料常被應用於發展簡單且快速的分析方法，但是在人工合成的奈米材料可被進一步應用之前先行瞭解其物理及化學特性如尺寸大小等等是相當重要的課題。但現有的技術中卻受限於現有技術的限制，如小於1奈米的材料樣品其尺寸便很難由現有技術而被進行量測，而且大多現有的分析儀器多半複雜且昂貴，因此發展簡單的方法有其必要性。所以本論文利用流體層析法、泰勒分散法以及質譜法發展可以針對不同尺寸大小的奈米材料進行量測、分離及分析，及利用奈米材料為探針結合質譜法進行生物樣品分析方法之發展，本論文的研究主要分成三個部分，第一個部分為發展偵測樣品粒徑及分離奈米尺寸

樣品的方法，此裝置包含自製的氣體壓力系統，毛細管以及紫外光吸收光譜偵測器，結合流體層析與泰勒分析可以達到同時進行奈米材料的水合半徑之量測以及進行不同尺寸大小的奈米材料之分離效果。我們也發現使用此系統分析蛋白質的水合半徑，和文獻報導的實驗值僅有10%以下的誤差率，而且此系統也進一步被用來研究微生物細胞間的作用力，可藉以分辨因細胞間有作用力產生聚集而造成在流體層析中顯現的滯留時間及層析峰分佈產生的差異。。 在本論文第二個部分，我們發展了結合流體層析與線上結合質譜法界面的發展，可應用在觀測不同流體壓力下蛋白質的構形變化，研究中使用了胺基酸、胜肽與蛋白質當作樣品。我們發現當外加流體壓力大於1.5

psi時，蛋白質可以處於它們的原始構形，如小於此值則反之。我們懷疑在毛細管中之流體提供的剪應力會對蛋白質結構造成影響，當我們施加較低的壓力時，流速較低，蛋白質停留在毛細管中較久進而延長剪應力對於蛋白質構形的影響，進而使蛋白展產生變性的結果。但是在進行胺基酸，奈米材料以及小分子的分析中，則沒有觀察到粒徑改變的情形發生，可能是因為這些小尺寸樣品的結構較堅固且沒有太多構形可改變。在本部分的研究中我們成功地證實使用拉尖的毛細管為界面，以結合流體層析與質譜法可以應用於尺寸大小不同的樣品之粒徑測量與分子量之分析。 本論文的最後一部分是開發了以磁性奈米粒子為分析富含組胺酸樣品的分析平台，可以在含複

雜基質樣品中快速分析具有組胺酸標記的樣品。由於磁性奈米粒子具有藉由施加外加磁場便可以快速濃縮與分離的優點，我們利用表面修飾有氧化鋁層的氧化鐵磁性奈米粒子做為組胺酸標記分子的親和探針。此氧化鋁磁性奈米粒子對於組胺酸標記分子的解離常數值約為10-5 M左右，因此在複雜樣品中對於組胺酸標記分子有很好的選擇能力。為了加速分析的過程，我們將整個實驗移到雷射輔助脫附游離質譜儀的樣品盤上進行操作，結果可使樣品需要量下降至1-2 μL左右且可將濃縮萃取時間減少至30秒內。同時，我們也證明了可以在10分鐘內快速完成樣品盤上即時萃取濃縮及進行目標物的酵素消化反應，並進行雷射輔助脫附游離質譜分析。最後，實驗中也證明

此方法可以應用於快速分析經基因工程改造的大腸桿菌所表達富含有組胺酸標記的類志賀毒素之蛋白質片段。 總體而言，在本論文中，我們成功開發了三種可以快速定性樣品粒徑大小、進行流體層析分離、結合質譜法以及分析生物樣品的新穎方法我們提出了第一個利用流體層析進行分析細胞間相互作用的方法;此外，我們也建立了一個非常簡易的流體層析線上結合質譜系統的界面而可用於生物分子的分析;最後，我們也成功地發展了以磁性奈米粒子為基材之平台，可應用於快速且靈敏地偵測在複雜樣品中富含組胺酸的生物分子的方法。這三種新開發的方法應該有潛力於被進一步擴展應用於其他的奈米材料以及生物分子的分析之研究。