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以低溫大氣電漿聚合可撓式疏水防刮氧化矽薄膜之研究

為了解決銅msds的問題，作者萬祥宇 這樣論述：

鋁合金近年來由於其優越的機械性質，易於處理並且其廣泛的工業應用而成為重要的材料，特別是在航空航天和家庭工業中[1,2]。鋁合金最顯著特徵是具有薄、有粘附性和保護性之表面氧化膜，因此具有耐腐蝕性。但鋁合金具有反應性，在水中容易腐蝕[3]。鋁合金在這些應用中的主要缺點是容易腐蝕，特別是在含有Cl-離子，甚至微量的Cl-的水性環境中[3]，這限制了鋁合金的應用。鋁成分對人體是有傷害的，鋁製器皿一直是家居生活中最常用的器具，如果使用不當，對人體健康有很大的傷害。鋁製品所帶來的危害最終還是鋁本身。鋁製品中含有鋁、鋅、銅等金屬元素，這些雜質都具有致癌作用，尤其是對老年人，如果攝入過多的鋁，最易患老年痴呆

症和骨折。鋁製品傷害人體已是世界定論。可是，鋁製品便宜、輕便，目前仍被廣泛使用，特別適用在食品上的製品，如烤盤。原本烤盤上的配方是Teflon但因製造「鐵氟龍」時添加的「全氟辛酸（Perfluorooctanoic acid;PFOA）」可能對人體有害。因此在鋁合金上鍍上一層能抗刮疏水層的膜來代替鐵氟龍就非常重要了。固本研究以此為目標。 由於低溫大氣電漿 (Low temperature atmospheric-Pressure Plasma)具有鍍膜速率快、室溫製程、及不用抽真空進行聚合薄膜等優點，本研究主旨在以低溫大氣電漿聚合沉積SiOxCy薄膜SiOxCy於可撓式1050鋁合金，探

討加入不同單體將SiOxCy薄膜鍍膜於可撓式鋁合金基板以及不同氮氣氧氣流量的變化，提升可撓式鋁合金基板疏水性質及防刮性質。以Pencil test與防刮測試基板的表面硬度與防刮刮能力，經低溫大氣電壓聚合之Al/SixOyCz防刮能力可達100g重91次之防刮測試，而去離子水之接觸角可由78.8˚提升至124.7˚。

CIGS 硒化製程H2Se廢氣處理三級處理

為了解決銅msds的問題，作者蔡宗良 這樣論述：

太陽能電池(Solar cell)是以太陽能光伏(Photovoltaic)為發電基礎的技術，係利用光伏效應(Photovoltaic effect)將光能轉變成電能的裝置。薄膜太陽電池(Thin Film Solar)具材料成本低之優勢，而CIGS (Copper Indium Gallium Selenide)太陽電池具有高效率也兼備可開發低成本製程的特點。但CIGS吸收層製程其中硒化製程所產生H2Se廢氣具有毒性、易燃、易爆炸的風險，本文經比較目前現有業界既有處理方式及優劣之處，設計一套新型H2Se廢氣三級處理系統採用了第一級獨立吸附硒化爐產生的H2Se廢氣、第二級吸附集合所有第一級吸

附設備出口側及並與第一級互為備機機制、第三級乾式吸附處理與第二級出口側互為備機機制並可處理硒化製程異常時所排放的H2Se環境、供氣盤體廢氣，採用此一方式除了可具有各段廢氣處理設備互為備機的機制，可以補強現有系統運轉缺點及達到低成本、低環境影響、低製程風險、低人員危害之目的。